Vacuum Technology Book, Volume II

3.7.1.4 밀봉 탄성 중합체 회전과 평행이동

동적 응력의 영향을 받는 진공 적합 실의 경우 특수한 탄성 중합체 실이 사용되고, 이것들은 종종 FKM (불소 성 중합체) 재료로 만들어집니다. 하우징, 실, 작동기 샤프트 사이의 제 한된 구조 조정은 신중히 행해져야 하고, 표면 마감의 설계 및 실행에도 같은 내용이 적용됩니다.

빈번한 이동 및 밀봉 효과 증가의 경우 탄성 중합체 실은 이 동하는 접촉 포인트에서 윤활되어야 하는데, 이는 마찰을 줄 여주고 빠른 마모를 방지하고 표면의 작은 불순물들을 없애 줍니다. 최대 작동 및 베이크아웃 온도에 적합한 진공 그리스 또는 오일을 선택할 때 이들의 속성이 특히 증기압이 고려되 어야 합니다.

탄성 중합체 밀봉 피드스루는 부분적으로만 구을 수 있습니 다. 또한 그리스의 구성품이나 소량의 탄화수소가 어플리케 이션과 호환 가능한지 검사되어야 합니다. 이런 제한을 고려 할 때 탄성 중합체 밀봉 기계적 피드스루는 진공 품질에 대한 가장 높은 요구가 우선 요구되지 않을 경우 기능적 원칙을 가 진 더 비싼 장치에 대한 경제적 대안을 대표합니다.

연속 작동기 샤프트의 이점은 대기 측면 구동으로 진공 측면 어플리케이션에 직접 연결되는 것입니다. 재생 또는 부하 의 존 위치 설정 오류는 없습니다. 작동기 샤프트의 치수 측정 및 장착에 따라 커다란 부하도 이동될 수 있습니다.

탄성 중합체 밀봉 피드스루를 사용하면 회전 및 선형 동작과 동시 회전/선형 동작이 수행될 수 있습니다.

Elastomer-sealed rotary feedthrough
  1. 샤프트
  2. 하우징
  3. 홈이 파인 볼 베어링
  4. 오링
  5. 방사상 샤프트 실 링
  6. 진공 그리스 저장 탱크

그림 3.27: 탄성 중합체 밀봉 회전 피드스루

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