Pfeiffer Vacuum

3.7.1.3 자기 결합 회전과 평행이동

자기 커플링은 용접 밀봉 회전 또는 선형 피드스루에 사용됩 니다. 이들은 진공에서 회전/이동 가능한 자석이 장착된 로터 를 구동하는 외부 정렬 영구 자석들로 구성됩니다. 두 부품 모두 얇은 벽 파이프로 서로 완전히 진공 밀봉되어 있습니다. 내부 및 외부 로터의 자석들 사이의 거리는 이들 사이의 커플 링 힘이 가능한 한 크도록 하기 위하여 가능한 한 짧아야 합 니다. 로터 내부는 이동해야 할 어플리케이션에 연결되어 있 고, 외부 자기 로터는 수동으로 이동하거나 모터로 구동됩니 다. 내부 베어링은 진공에 적합한 건조윤활로 윤활됩니다.

종종 금속으로 만들어진 고성능 자석이 사마륨 코발트 자석 과 같이 거의 접지되지 않은 채로 사용됩니다. 이것들은 베이 크 아웃 시 발생하는 것처럼 고온에 동시적으로 뛰어난 저항 을 보이는 가능한 한 가장 높은 강도를 보장합니다. 이런 자 기 결합 시스템은 UHV 어플리케이션에 적합합니다. 자기장 이 대부분 차폐되어 있다 해도 자기장 라인의 확산은 완벽하 게 회피될 수 없습니다. 사용자는 따라서 자체 어플리케이션 이 잔류 자기장에 충분히 저항하는지를 확인해야 합니다.

자기 결합 시스템을 사용하면 회전 및 선형 동작 및 동시 회 전/선형 동작이 수행될 수 있습니다. 전송 가능한 변위력과 토크는 자석의 수와 배열에 의해 제한됩니다. 달성 가능한 정 확도는 이동할 질량에 따라 달라집니다. 자기장은 두 커플링 파트너 사이에서 스프링처럼 작용합니다. 외부의 힘이나 토 크가 높을수록 내부 및 외부 로터 사이의 위치 편차는 더 커 집니다. 외부의 힘과 시간이 최대 허용 가능 값과 비교해서 낮을 경우 이동은 매우 정확하게 전달될 수 있습니다.

자기 결합 UHV 회전 피드스루
  1. 자기 내부 로터 모터
  2. 자기 외부 로터 모터
  3. 진공 하우징

그림 3.26: 자기 결합 UHV 회전 피드스루