Pfeiffer Vacuum

3.7.1.5 펌핑 공간이 있는 슬라이딩 가스켓 경유 회전

자유로운 통과가 가능한 조작기와 서로 자유롭게 회전 가능 한 플랜지를 제조하는 유일한 방법은 슬라이딩 개스킷을 사 용하는 것입니다. 슬라이등 개스킷만으로는 UHV-밀폐 분리 를 제공하지 못하기 때문에 여러 개의 와이어가 직렬로 연결 되고 공간이 비워집니다. 일반적으로 세 개의 특수 PTFE 슬 라이딩 개스킷이 직렬로 설치됩니다. 첫 번째 공간에는 한 개 의 유압 펌프로 충분합니다. 내부에 UHV 조건이 우세하다면 추가 단간 펌프가 요구되며, 여기에 고진공 펌프가 연결됩니 다.

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