Pfeiffer Vacuum

3.7 조작기와 기계적 피드스루

연구 및 산업 생산의 많은 진공 공정은 표본 또는 구성품의 환기 지역으로의 이동을 요구합니다. 이것은 세 개 공간 축 방향에서 선형 위치 변경이 될 수 있고, 단일 이동 또는 서로 간의 이동 유형의 결합으로써 축 주위 회전이 될 수 있습니 다.

조작기와 기계적 피드스루는 진공에서의 평행이동 및 회전 을 허용하고, 이들의 구동은 대기 측면에 위치해 있고, 이동 은 진공 밀폐 방식으로 전달됩니다. 여러 가지 다른 작동 및 전송 원칙이 사용되며 각각의 진공 및 어플리케이션 조건을 따릅니다. 금속 멤브레인과 스프링 벨로우즈, 특수 탄성 중합 체 실, 자기 결합 시스템 또는 타동 펌프 실이 밀봉 요소로 사 용될 수 있습니다.

두 개의 개방된 플랜지 연결과 한 개의 개방된 통로를 가진 설계는 조작기라 불리고, 진공 밀폐 플랜지에 설치된 작동기 가 있는 구성품은 기계적 피드스루라 불립니다. 후자는 컴팩 트한 설계가 특징입니다. 조작기는 서로 결합되고 연장될 수 있습니다. 또한 기계적 피드스루는 조작기에 부착되어 다양 한 유형의 이동을 진공에 전달할 수 있고, 그와 함께 다양한 이동 작업에 솔루션을 제공할 수 있습니다. 또한 다른 피드스 루는 예를 들어 전기 또는 유체를 위한 유입구 플랜지에 부착 될 수 있고, 이런 피드스루는 조작기에 의해 직접 어플리케이 션으로 인도될 수 있습니다.

특히 명목 직경이 더 큰 조작기의 플랜지들은 대기 압력 때문 에 상당한 힘을 갖습니다. 플랜지가 진공 하에서 안정적이려 면 조작기 설계 시 플랜지의 내재된 강성이 강조되어야 합니 다. 특별한 설계 과제는 내장 구성품에 의한 외부 부하 및 다 른 부하에 따라 이동을 정확히 전달하는 것입니다. 내장 구성 품은 UHV 범위에서도 사용할 수 있도록 베이크 아웃될 수 있어야 합니다.

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