Pfeiffer Vacuum

1.2.7 pV 처리량

일반 기체 방정식(공식 1-6)을 시간 t로 나누면 다음과 같 이 기체의 흐름을 얻을 수 있습니다

\[q_{pV}=\frac{p\cdot V}t = \frac{m\cdot R\cdot T}{M\cdot t}\]

공식 1-15: pV 처리량

$q_{pV}$ pV 처리량 [Pa m3 s-1]

방정식의 오른쪽에서 볼 수 있듯이, 일정한 질량 흐름은 일정 한 온도 T에서 변위됩니다. 이것 역시 pV 흐름 또는 기체 처 리량이라 불립니다. 처리량은 진공 펌프에 의해 운반되는 기 체 유속입니다.

\[q_{pV} = S\cdot p = \frac{dV}{dt}\cdot p\]

공식 1-16: 진공 펌프의 처리량

처리량을 유입 압력으로 나누면 다음과 같이 진공 펌프의 펌 프 속도인 부피 흐름 비율을 얻을 수 있습니다.

\[S = \frac{dV}{dt}\]

공식 1-17: 부피 흐름 비율 또는 진공 펌프의 펌프 속도

처리량의 다양한 단위에 대한 변환표는 표 1.8에 나와 있 습니다.

Pa m3 / s = W mbar l / s Torr l / s atm cm3 / s lusec sccm slm Mol / s
Pa m3 / s 1 10 7.5 9.87 7.5·103 592 0.592 4.41·10-4
mbar l / s 0.1 1 0.75 0.987 750 59.2 5.92·10-2 4.41·10-5
Torr l / s 0.133 1.33 1 1.32 1,000 78.9 7.89·10-2 5.85·10-5
atm cm3 / s 0.101 1.01 0.76 1 760 59.8 5.98·10-2 4.45·10-5
lusec 1.33·10-4 1.33·10-3 10-3 1.32·10-3 1 7.89·10-2 7.89·10-5 5.86·10-8
sccm 1.69·10-3 1.69·10-2 1.27·10-2 1.67·10-2 12.7 1 10-3 7.45·10-7
slm 1.69 16.9 12.7 16.7 1.27·104 1,000 1 7.45·10-4
Mol / s 2.27·103 2.27·104 1.7·104 2.24·104 1.7·107 1.34·106 1.34·103 1

표 1.8: 처리량 단위의 변환표