Vacuum Technology Book, Volume II

1.3.4 베이크 아웃

초고진공 범위에서 압력(<10-8 hPa)에 도달하려면 다음 조건 이 충족되어야 합니다.

  • 진공 펌프의 기본 압력이 요구되는 최종 압력보다 10 낮 은 요소여야 합니다.
  • 진공실 및 구성품에 사용된 물질이 최소 탈기체에 적합해 야 하고 적절한 표면 마감 등급이어야 합니다.
  • 금속 실(예: CF 플랜지 연결 또는 ISO 표준용 헬리코플렉 스 실)을 사용해야 합니다.
  • 청정 작업은 초진공에는 필수입니다. 예를 들면 모든 부품 은 설치 전에 철저히 청소해야 하고 그리스 없는 장갑을 착용한 채 설치해야 합니다.
  • 장비와 고진공 펌프는 베이크 아웃이 필요합니다.
  • 누출은 히터 작동 전에 피하거나 제거해야 합니다. 헬륨 누출 감지기 또는 4중극자 질량 분석기는 이런 목적을 위 하여 사용해야 합니다.

베이크 아웃은 확산 및 탈리 비율을 크게 증가시키고 펌핑 시 간을 크게 줄여줍니다. 제조 과정의 최종 단계들 중 하나인 UHV 사용 챔버는 최대 900 °C의 온도에서 담금질을 할 수 있 습니다. 후속 베이크 아웃 온도는 텐트에서 최대 300 °C에 도 달할 수 있습니다. 고진공 펌프 플랜지에서 최대 베이크 아웃 온도와 관련한 펌프 제조업체들의 지침은 일반적으로 작동 중 최대 온도를 120 °C로 제한합니다. 열 소스가 진공 장비( 예: 복사 난방)에서 사용될 경우 인정되는 복사 전력을 초과 해서는 안 됩니다.

장비는 설치된 후에 가동해야 합니다. 10-5 hPa의 압력에 도 달한 후에는 히터를 켭니다. 가열하는 동안 모든 진공 측정기 를 10시간 간격으로 가동하고 진공 상태로 만들어야 합니다. 적절한 표면 마감 등급으로 금속 실로 처리된 스테인레스강 용기를 사용할 경우 20°C의 베이크 아웃 온도와 약 48시간 의 가열 시간이면 10-10 hPa의 압력 범위에 충분히 도달할 수 있습니다.

베이크 아웃은 최종 기대 압력에 100회 도달할 때까지 지속 되어야 합니다. 그런 다음에는 펌프 및 진공실의 히터들을 끕 니다. 냉각 후에는 원하는 최종 압력에 도달할 겁니다.  · 10-10 hPa 미만의 압력과 거대한 내부 표면 영역에서는 높 은 부피 흐름 비율에서 금속에서 수소를 배출시키는 기체 결 합 펌프(티타늄 승화 펌프)를 사용하는 것이 좋습니다.

이 웹 사이트는 당신이 우리의 웹 사이트에서 최고의 경험을 얻을 수 있도록 하기 위하여 쿠키를 사용합니다. 더 많은 정보