Vacuum Technology Book, Volume II

1.3.5 잔류 기체 구성

초고진공 상태에서 작업할 때에는 진공 공정을 시작하기 전 에 또는 공정을 모니터하거나 제어하기 위하여 잔류 기체의 구성을 아는 것이 중요합니다. 깨끗하지 않거나 잘 베이크 아 웃되지 않은 진공실에서는 물m/e = 18)과 그 성분인 OH(m/e = 17)의 백분율이 클 수 있습니다. N2/O2 비율이 약 4:1일 때 질소(m/e = 28) 및 산소(m/e = 32)가 최대치에 달 하면 누출을 확인할 수 있습니다.

수소(m/e = 2), 물(m/e = 17 및 18), 일산화탄소(m/e = 28), 이산화탄소(m/e = 44)는 잘 베이크 아웃된 진공실에서 발견 됩니다. 터보 분자 펌프를 사용할 때는 이산화탄소가 발견되 지 않습니다. 이산화탄소는 고분자 질량 및 그로 인한 고압축 비 때문에 진공실에서 효과적으로 배기됩니다. 터보 분자 펌 프로 환기한 깨끗한 용기에 대한 일반 잔류 기체 스펙트럼은 그림 1.10에서 볼 수 있습니다.

터보 분자 펌프로 환기한 깨끗한 용기에 대한 일반 잔류 기체 스펙
트럼

그림 1.10: 터보 분자 펌프로 환기한 깨끗한 용기에 대한 일반 잔류 기체 스펙 트럼

질량 분석기로 작업하는 것에 대한 더 많은 정보는 6장 질량 분석기 및 잔류 기체 분석에 나와 있습니다.

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