Vacuum Technology Book, Volume II

4.4.4 부속품

먼지 분리기(SAS)는 나사 펌프의 부속품으로 사용 가능합니 다. 펌프에 연결 플랜지를 끼워맞출 수 있는 다양한 유형이 있습니다.

D1 유형 다이에스테르 오일이 작동 유체로 사용됩니다.

HeptaDry 시리즈
모델 50 Hz에서의 펌프 속도 60 Hz에서의 펌프 속도 50 Hz에서의 최종 압력 60 Hz에서의 최종 압력
Hepta 100 P 110 m³ · h-1 130 m³ · h-1 < 5 · 10-2 hPa < 1 · 10-2 hPa
Hepta 200 P 220 m³ · h-1 265 m³ · h-1 < 5 · 10-2 hPa < 1 · 10-2 hPa
Hepta 300 P 320 m³ · h-1 410 m³ · h-1 < 5 · 10-2 hPa < 1 · 10-2 hPa
Hepta 400 P 350 m³ · h-1 420 m³ · h-1 < 5 · 10-2 hPa < 1 · 10-2 hPa
Hepta 600 P 525 m³ · h-1 630 m³ · h-1 < 5 · 10-2 hPa < 1 · 10-2 hPa

표 4.13: HeptaDry 성능 데이터

공랭식 다단계 루츠 펌프의 작동 원리

그림 4.8: 공랭식 다단계 루츠 펌프의 작동 원리

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