Vacuum Technology Book, Volume II

4.6.1 설계 / 작동 원리

전 섹션에서 설명된 펌프와 마찬가지로 이 장에서 설명되는 루츠 진공 펌프는 기술적으로 건식 회전 변위 진공 펌프의 카 테고리에 속해 있습니다. 이 섹션에서는 부식성 공정을 위한 펌프와 부하 락 및 이송 챔버를 위한 펌프에서 파생된 펌프를 다룹니다.

다단계 루츠 펌프의 작동 원리
공정 펌프

그림 4.11: 다단계 루츠 펌프의 작동 원리 공정 펌프

펌프에서는 두 개의 동기 역회전 로터(1)가 단일 하우징(2)에 서 비접촉 회전합니다(그림 4.11 참조). 로터는 8자형 구성 이고, 좁은 간격으로 서로 분리되어 있습니다. 로터의 4~6개 부품이 로터 샤프트에 위치해 있습니다. 각각의 로터 공동은 기체 구멍이 있는 고정자 디스크에 의해 서로 분리되어 있습 니다. 전달된 기체는 유입구에서 출구로 펌프됩니다. 수직 펌 프 방향은 공정 펌프에서 항상 중요합니다. 배출구 채널의 여 러 스테이지 사이의 공간은 결과적으로 입자 트랩으로 사용 될 수 있습니다. 이것이 펌프의 폐색을 피하는 최선의 방법입 니다.

흡입실에서는 마찰이 일어나지 않기 때문에 루츠 진공 펌프 는 최대 6,000 rpm의 높은 회전 속도로 작동될 수 있습니다. 샤프트 축 주변에 로터 질량의 대칭 분배는 완벽한 동적 균형 을 낳으며, 이는 펌프가 자체의 높은 속도에도 불구하고 매우 조용히 작동됨을 의미합니다.

펌프와 소음기에서 화학 물질의 응축을 피하기 위하여 화학 물질은 냉각수 흐름을 조절함으로써 달궈질 수 있고 아니면 가열 슬리브로 전기적으로 가열될 수 있습니다. 출구 소음기 가 분리 배열될 경우엔 추가 가열 슬리브가 필요합니다. 출구 소음기를 직접 펌프 블록에 통합하는 것은 추가 히터를 필요 로 하지 않음으로써 에너지 비용을 줄일 뿐만 아니라 설치를 더 수월하게 해줍니다.

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