Vacuum Technology Book, Volume II

4.6.6 포트폴리오 개요

4.6.6.1 수냉식 공정 펌프

ACP 120 / ACP 120 G의 펌프 속도와 최종 압력은 루츠 펌 프는 루츠 펌르와 결합하면 더 증가할 수 있습니다. 최적화된 펌프 버전은 더 큰 부피에서 사용 가능합니다.

제공된 기술 데이터는 본선 주파수가 50Hz일 경우입니다. 표 준은 1 m3 을 넘지 않습니다. A 203 H 및 A 1803 H 유형 펌프 의 특별 버전은 부피가 최대 50 m3 일 경우에 적합합니다.

Multi-stage Roots pumps for noncorrosive applications
모델 펌프 속도 퍼지 기체 있는/없는 최종 압력 어플리케이션
ACP 120 95 m³ · h-1 3 · 10-2 hPa 최대 1 m3 의 부피를 가진 부하 락 및 이송 챔버, 비부식성 기체, 주요 기체, 극저온 펌프의 재생, 비부식성 기체가 있 는 터보 펌프용 배압 펌프
ACP 120 G 95 m³ · h-1 9 · 10-2 with 35 slm purge gas
A100 L 100 m³ · h-1 6.6 · 10-3 hPa
A100 L ES 100 m³ · h-1 7 · 10-4 hPa

표 4.16: 비부식성 어플리케이션용 수냉식 다단계 루츠 펌프의 성능 데이터

부식성 어플리케이션용 다단계 루츠 펌프
모델 펌프 속도 퍼지 기체 있는/없는 최종 압력 어플리케이션
A 103 P 120 m³ · h-1 6.5 · 10-3 hPa 2.6 · 10-2 hPa mit 20 slm Spülgas 건식 식각(산화물과 폴리머) 회분화 스트리핑 RTP 주입
A 603 P 480 m³ · h-1 5 · 10-4 hPa 2 · 10-3 hPa with 20 slm purge gas
A 1003 P 900 m³ · h-1 3 · 10-4 hPa 1 · 10-3 hPa mit 20 slm Spülgas

표 4.17: 비부식성 어플리케이션용 P 시리즈 수냉식 다단계 루츠 펌프의 성능 데이터

부식성 어플리케이션용 다단계 루츠 펌프(거친 공정)
모델 펌프 속도 퍼지 기체 있는/없는 최종 압력 어플리케이션
A 203 H 130 m³ · h-1 6 · 10-2 hPa 5 · 10-1 with 50 slm purge gas 금속 식각 CVD(PECVD, SACVD, LPCVD) ALD 에피택시 건식 식각
A 803 H 600 m³ · h-1 1 · 10-3 hPa 1 · 10-2 hPa with 50 slm purge gas
A 1503 H 1,100 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 9 · 10-3 hPa with 50 slm purge gas
A 1803 H 1,650 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 9 · 10-3 hPa with 50 slm purge gas
AD 73 KH 4,700 m³ · h-1 8 · 10-4 hPa 3 · 10-3 hPa with 50 slm purge gas

표 4.18: 비부식성 어플리케이션용 H 시리즈 수냉식 다단계 루츠 펌프의 성능 데이터(거친 공정)

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