4.5 다단계 루츠 펌프 – 진공 생성

4.5.1 설계 / 작동 원리

1단계 및 다단계 루츠 펌프는 건식 회전 변위 진공 펌프의 범 주에 속합니다. 이 펌프는 또 루츠 펌프 또는 루츠 송풍기로 도 불립니다. 이 장에서 설명되는 다단계 루츠 펌프는 ACP 범위(adixen 청정 펌프)에 속합니다.

펌프에서 두 개의 동기 역회전 로터(1)는 단일 하우징에서 비 접촉 회전합니다(그림 4.9). 로터는 8자형 구성이고, 좁은 간 격으로 서로 분리되어 있습니다. 로터의 4~6개 부품이 로터 샤프트에 위치해 있습니다. 각각의 로터 공동은 기체 구멍이 있는 고정자 디스크에 의해 서로 분리되어 있습니다. 전달된 기체는 유입구(3)에서 출구(4)로 로 펌프됩니다.

한 개의 샤프트가 모터(5)에 의해 구동됩니다. 나머지 샤프트 는 기어 박스 안에 있는 타이밍 기어(6)에 의해 동기화됩니 다. 윤활은 기어 박스로 제한되고 낮은 압력과 높은 압력 베 어링(9)으로 압축됩니다. 이 베어링은 샤프트 실(8)에 의해 흡입실(7)에서 밀봉됩니다.

흡입실에서는 마찰이 일어나지 않기 때문에 루츠 진공 펌프 는 최대 6,000 rpm의 높은 회전 속도로 작동될 수 있습니다. 샤프트 축 주변에 로터 질량의 대칭 분배는 완벽한 동적 균형 을 낳으며, 이는 펌프가 자체의 높은 속도에도 불구하고 매우 조용히 작동됨을 의미합니다.

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