Pfeiffer Vacuum

4.5.2 어플리케이션

ACP 범위에서 건조 공랭식 다단계 루츠 펌프는 종종 설계 및 성능 매개변수 덕에 사용 가능한 펌프 속도 범위에서 오일 윤활 회전 날개 펌프에 대한 직접적인 교체로 사용될 수 있습 니다.

다단계 루츠 펌프의 이점은 다음과 같습니다.

  • 기체 변위 영역에서 윤활 없음
  • 오일 또는 입자로 펌프된 매개체의 오염 없음
  • 작동 유체 처리 문제 없음
  • 장기 안정성을 가진 일정한 진공 매개변수
  • 최소한의 마모 부품 수로 인한 높은 신뢰성
  • 1상 또는 3상 주파수 변환기를 사용함으로써 전원 공급 시 마다 일정한 작동 매개변수, 본선 주파수, 범용 본선 전원 연결
  • 공기 냉각, 수냉식 설치 비용 및 작동 비용 없음
  • 높은 유입구 압력에 반하여 연속 작동 가능
  • 서비스 간격이 길어 작동 비용이 낮음
  • 주파수 변환기로 원격 제어 옵션
  • 조정 가능한 rpm, 감소된 잡음 수준, 에너지 사용 및 전원 입력으로 인해 어플리케이션에 대한 이상적인 적응
  • 최소 누출률
  • 터보 펌프 및 루츠 펌프에 대한 이상적인 배압 펌프
  • UL/CSA 및 SEMI S2에 인증

증기

추가 측정이 없으면 비교적 낮은 작동 온도로 인해 무유 오일 펌프가 있는 펌프 내부에 응축의 위험이 있습니다. 회전 날개 펌프와 마찬가지로 다단계 루츠 펌프엔 펌프의 수증기 허용 치와 수증기 용량을 증가시키기 위하여 기체 밸러스트 펌프 가 장착되어 있습니다. 펌프 내부의 응축물 형성은 최종 압력 을 높이고, 이는 부식을 또 최악의 경우엔 펌프의 전체 고장 을 유발합니다.

ACP 펌프는 기체 밸러스트 없이 최대 5%의 습기 함량을 가 진 매개체를 전달할 수 있습니다. 표준 펌프 기체 밸러스트가 있으면 수증기 허용치는 10 hPa, 수증기 용량은 100 g · h-1 입 니다. 특수 펌프 버전의 기체 밸러스트 처리량(CV, 응축 가능 증기)이 증가하면 주변 온도에 따라 약 100 hPa의 수증기 허 용치와 700~1,000 g · h-1 의 수증기 용량에 도달할 수 있습니 다.

회전 날개 펌프에 대해서는, 증기를 배출하기 전에 펌프는 기 체 밸러스트로 최소 30분 동안 가열했음이 분명합니다. 펌프 블록의 더 높은 온도는 응축을 감소시킵니다. 응축을 감소시 키는 추가 측정에는 가능한 최저 출구 압력의 도달과 응축물 의 분리 제거가 포함됩니다. 출구의 배압은 수직 배기가스 라 인으로 방지되어야 합니다. 추출 시스템이 사용 가능할 경우 출구는 추출 시스템에 연결되어야 합니다.

먼지와 입자

ACP 시리즈의 다단계 루츠 펌프는 최악의 경우 차단되어 커 다란 입자가 제어되지 않고 근린 폐해를 주는 결과가 되어 완 전히 실패할 수 있습니다. 이런 이유 때문에 먼지를 내뿜는 공정(예: 파손으로부터 보호하기 위한 유리 제조)에서 유입구 측면에 필터가 장착됩니다.

부식성 기체

ACP 시리즈 펌프는 대량의 부식성 기체의 펌프 다운에 적합 하지 않습니다. 다단계 루츠 펌프는 반도체, 태양열, 코팅 산 업의 부식성 기체 처리에 사용 가능합니다(4.6장 참조). 그러 나 ACP 시리즈 펌프는 최소한 부식성 기체의 추적을 다루는 데에 사용될 수 있습니다. 이 경우에 불활성 기체 커튼으로 베어링이 보호되고 불활성 기체 퍼지가 있는 버전이 사용되 고, 공정 기체는 펌프 단계 중 하나에 불활성 기체를 도입함 으로써 희석됩니다.

누출률

이런 펌프의 높은 기밀은 다단계 루츠 펌프를 장기간 사용 가 능한 완벽한 솔루션 겸 비싼 기체( 4He, 3He, 동위원소 표시 기체)를 가진 기체 회로로 만듭니다.

가벼운 기체와 고진공

다단계 루츠 펌프엔 습기와 산소가 흡입실 로 역 확산되는 것 을 방지하기 위한 배출 밸브가 있습니다. 이때 흡입실은 부식 성 기체 어플리케이션을 사용하여 펌프에서 화학적 반응이 일어나게 합니다. 이 밸브는 가벼운 기체가 수집되어 역 확산 되는 것을 방지하기 위하여 진공이 생성되기를 요구하는 어 플리케이션에서 주기적으로(예: 기체 밸러스트를 통하여) 열 려야 합니다.

배기 시 또는 기체 밸러스트 사용 시엔 약한 진공조차도 증발 저온 유지 장치에서처럼 질소 또는 공기와 동일한 성능 데이 터를 가진 헬륨의 연속 기체 처리량을 변위시키기에 충분합 니다.

운반 기체의 사용이 금지된(폐쇄형 루프 어플리케이션에서 처럼) 어플리케이션에서는 펌프 출구에 진공이 있어야 합 니다.

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