Pfeiffer Vacuum

4.5.3.1 공랭식 다단계 루츠 펌프

표 4.14에 나와 있는 버전은 3상 또는 1상 본선 전원 연결 을 공급 받을 수 있습니다. 본선 전압 및 주파수와 상관 없이 모든 펌프엔 주파수 변환기가 장착되어 있습니다.

공랭식 다단계 루츠 펌프 구성
모델 표준 버전 부식성 기체에 대 한 ”G“ 버전 응축 가능한 매개체에 대한 ”CV“ 버전
기체 밸러스트 없음 수동 기체 밸러스 트 밸브 유입구 필터가 있 는 영구 기체 밸 러스트 수동 기체 밸러스 트 밸브 유입구 필터가 있 는 영구 기체 밸러 스트
ACP 15
ACP 28
ACP 40

표 4.14: 공랭식 다단계 루츠 펌프의 가능한 구성

공랭식 다단계 루츠 펌프
모델 펌프 속도 기체 밸러스트 있 는/없는* 최종 압력 어플리케이션
ACP 15 14 m³ · h-1 3 · 10-2 hPa 비부식성 기체, 아르곤, 터보 펌프용 배압 펌프
ACP 28 27 m³ · h-1 3 · 10-2 hPa
ACP 40 37 m³ · h-1 3 · 10-2 hPa
ACP 15 14 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa* 습도가 > 5%인 표준 어플리케이션 또는 챔버 벽에서의 흡착, 극저온 펌프의 재생
ACP 28 27 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 40 37 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 15G 14 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa* 부하 락 및 이송 챔버, 가벼운 기체의 발생율이 높은 터보 펌프용 배압 펌프, 부식성 기체 밀도가 낮은 공정 기체, 입자 가득한 공정 기체, 산소 및 산화 매개체
ACP 28G 27 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 40G 37 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 28CV 27 m³ · h-1 2 · 10-1 hPa* 건조, 증류, 증발하는 유체를 사용한 어플리케이션
ACP 40CV 37 m³ · h-1 2 · 10-1 hPa*

표 4.15: 공랭식 다단계 루츠 펌프 성능 데이터

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