Vacuum Technology Book, Volume II

4.5.3.2 부속품

입자 필터(IPF)

공정 관련 먼지와 입자가 존재할 경우, 펌프엔 펌프가 차단되 는 것을 방지하기 위하여 업스트림 입자 필터가 장착되어야 합니다. 펌프에 연결 플랜지를 끼워맞출 수 있는 다양한 유형 이 있습니다. 효과적인 필터 메시는 25 µm입니다. 다른 필터 유형과 메시 크기는 요구 시 사용 가능합니다.

소음기(ES)

출구 측면의 소음기 ES 25S는 특히 대기압과 가까운 높은 작동 압력에서 펌프의 잡음 수준을 줄여줍니다. 이것은 최종 압력과 근사한 펌프의 잡음 수준에 어떤 영향도 미치지 않습 니다.

소리 보호 후드(NRC 및 SEK)

소리 보호 후드는 심지어 최종 압력과 근사한 작동 압력에서 ACP 펌프의 음압 수준을 줄여줍니다. NRC 유형 후드는 음 압을 약 5~6dB(A)로 줄이고 최대 주변 온도를 35 °C로 제한 합니다. SEK 유형 후드는 음압을 약 10dB(A)로 줄이고 최대 주변 온도를 30°C로 제한합니다.

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