Pfeiffer Vacuum

4.3 격막 진공 펌프

4.3.1 설계 / 작동 원리

격막 진공 펌프는 건조 양변위 펌프입니다. 크랭크 사프트 구 동 연결 봉(4)은 헤드 커버(2)와 하우징(3) 사이에 인장되어 있는 격막(1)을 움직입니다. 헤드 커버와 격막 사이의 공간이 흡입실(5)을 형성합니다. 격막 펌프는 목표 기체 변위를 달성 하기 위하여 유입 밸브와 배출 밸브(6)를 필요로 합니다. 탄 성 중합체 재료로 만들어진 압력 제어 셔터 밸브가 밸브로 사 용됩니다. 흡입실이 격막에 의해 구동 시부터 완전 용접 밀봉 되어 있기 때문에 펌프 매개체는 오일에 의해 오염될 수도 없 고 공격적인 매개체가 기구를 부식시킬 수도 없습니다. 배출 밸브와 흡입실 사이의 불감 부피는 단 하나의 펌핑 스테이지 오는 약 70 hPa의 최종 압력에 도달하는 것만 가능함을 의미 하는 제한된 압축비를 낳습니다. 여러 개의 펌핑 단계를 직렬 로 연결하면 0.5 hPa의 최종 압력에 도달하는 것이 가능합니 다. 더 낮은 압력은 도달할 수가 없습니다. 왜냐하면 이 경우 엔 유입 밸브를 열 충분한 힘이 더 이상 없기 때문입니다. 격 막 펌프의 원리는 최대 약 10 m3· h-1 의 낮은 펌프 속도에 특 히 적합합니다.