Pfeiffer Vacuum

4.3.4 부속품

다음 부속품은 격막 펌프에 사용 가능합니다.

  • 나사 체결 플랜지 및 플랜지 어댑터
  • 퍼지 기체 연결
  • 전진공 계전기 박스
  • 별 또는 표준 레일 장착을 위한 전원 팩
  • 터보 펌프 구동에 연결하기 위한 케이블
나사 펌프의 작동 원리

그림 4.6: 나사 펌프의 작동 원리

HeptaDry 로터터

그림 4.7: HeptaDry 로터터

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