Pfeiffer Vacuum

4.3.2 어플리케이션

탄화수소 없는 흡입실은 격막 펌프가 홀벡 단계의 터보분자 펌프에 대한 건조 배압 펌프로써 사용되는 데에 특히 적합하 게 해줍니다. 2단계 격막 펌프도 약 5 hPa의 최종 압력에 도 달할 수 있습니다. 이것은 홀벡 터보 펌프에 대한 배압 펌프 에 충분합니다. 깨끗한 진공은 특히 분석적 및 R&D 어플리 케이션에 유용합니다. 격막 펌프 역시 기체 밸러스트 없이 수 증기를 변위하지 않습니다. 고진공 장비의 벽에서 탁착하는 수증기의 낮은 부피조차도 격막 펌프의 최종 압력이 극적으 로 증가하도록 할 수 있습니다. 그러나 일부 격막 펌프는 특 허받은 공정에 따라 작동하는 기체 밸러스트 밸브가 장착되 어 있습니다. 이런 목적으로 기체가 2단계 격막 펌프의 첫 번 째 및 두 번째 단계 사이의 연결 채널로 유입되며, 이것은 작 은 구멍을 경유하여 첫 번째 단계의 흡입실과 연결됩니다.

더 큰 부피의 습기가 축적되고 기체 밸러스트 없는 격막 펌프 가 사용될 경우엔 펌프에 상당량의 응축물 형성을 방지하기 위하여 적합한 분리기 또는 냉각 트랩이 업스트림에 연결되 어야 합니다. 그러나 최종 압력은 그럼에도 불구하고 증가합 니다.

격막 펌프
모델 펌프 속도 최종 압력 어플리케이션
MVP 003-2 0.25 m³ · h-1 ≤ 7.0 hPa 소형 터보 펌프 펌핑 스테이션(HiPace 10 및 HiPace 80 사용 시 이상적), 이동 분석 장비, 미니 테스트 헬륨 누출 감지기 재생
MVP 006-4 0.25 m³ · h-1 ≤ 2.0 hPa 소형 터보 펌프 펌핑 스테이션(HiPace 10 및 HiPace 80 사용 시 이상적), 이 동 분석 장비
MVP 015-2 0.5 m³ · h-1 ≤ 3.5 hPa 터보 펌프 펌핑 스테이션, 누출 감지기, 연구실, 분석적 화학적 어플리케이션
MVP 015-4 0.5 m³ · h-1 ≤ 0.5 hPa
MVP 030-3 1.8 m³ · h-1 ≤ 2.5 hPa
MVP 040-2 2.3 m³ · h-1 ≤ 4.0 hPa
MVP 070-3 3.8 m³ · h-1 ≤ 1.0 hPa
MVP 070-3 C 3.4 m³ · h-1 ≤ 1.5 hPa 탄화수소 없는 진공을 요구하는 부식성 기체 어플리케이션

표 4.12: 격막 펌프 성능 데이터

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