Vacuum Technology Book, Volume II

4.3.3 포트폴리오 개요

파이퍼 베큠의 격막 펌프는 최종 압력, 펌프 속도 및 부식성 개스의 펌핑 안정성에 따라 다릅니다. 펌프의 펌프 속도는 3~160 l · min-1 (0.25~9.6 m3· h-1)입니다. 2단계 펌프에 대한 4 hPa 미만의 최종 압력과 4단계 펌프에 대한 0.5 hPa 미만 의 최종 압력은 도달 가능합니다. 이들의 펌프 속도와 도달 가능한 최종 압력은 본선 주파수에 따라 달라집니다.

코팅된 격막과 부식 저항 하우징이 있는 부식성 기체 펌프 모 델은 부식성 기체의 펌핑에 사용 가능합니다.

펌프의 지정은 l · min-1 의 펌프 속도 및 펌핑 단계의 수를 표 시하는 방식으로 선택됩니다. 부식성 기체 펌프는 모델 지정 시 끝에 문자 C가 붙습니다.

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