Vacuum Technology Book, Volume II

4.7.4 부속품

스플린터 쉴드 삽입은 모든 OktaLine 시리즈 루츠 펌프에 부 속품으로 제공됩니다.

기어 장치와 베어링 윤활을 위한 다음 오일들은 윤활제로 사 용 가능합니다(표 4.11 참조).

  • 광유 P3(0.5 l~200 l 용기)
  • 퍼플루오르폴리에터 F5(0.5 l~50 l 용기)
  • 다이에스테르 오일 D1(0.5 l~200 l 용기)

주의: 다른 종류의 오일이 혼합되어서는 안 됩니다. 펌프는 이런 유형의 오일 중 하나가 주입될 준비가 되어 있습니다.

많은 루츠 펌프가 펌프 조합에서 설치되기 때문에 다음 부속 품을 필요에 따라 통합하는 것이 가능합니다.

  • 전기 제어기
  • 온도 및 압력 측정 기기 장치
  • 압력 조절 시스템
  • 열 교환기 및 콘덴서
  • 실내 및 실외 설치용 방음 캡슐화
  • 소음기
  • 먼지 분리기
  • 플러싱 장치
  • 진동 분리
  • 액체 분리기
  • 기어 챔버 비우기
  • 밀봉 기체 공급

측정 연결

많은 루츠 펌프의 경우 펌프의 유입구 및 압력 측면에서 측정 연결을 사용하는 것이 가능합니다. 이렇게 하면 기존 잠금 나 사가 소형 ISO KF 플랜지 조합으로 교체될 수 있습니다. 또 적절한 온도 센서와 압력 센서가 펌프 모니터링을 위하여 연 결될 수 있습니다.

밀봉 기체 연결

용제 또는 반응 기체를 배출할 때는 윤활제가 응축의 결과로 상당히 희석될 위험이 존재합니다. 반응 기체 또는 증기는 기 어 챔버의 부품을 공격할 수도 있습니다. 대부분의 경우 이런 위험은 작업 공간과 기어 챔버 사이의 샤프트 피드스루 영역 으로 밀봉 기체를 유입시킴으로써 피할 수 있습니다. 주로 질 소(N 2 )인 불활성 기체는 밀봉 기체로 사용됩니다.

기어 챔버 비우기

대형 루츠 진공 펌핑 스테이션이 짧은 사이클 타임에 일정한 압력에 도달해야 하는(빠른 비우기) 모든 공정의 경우, 각 챔 버의 개별 진공 펌프에 의하여 오일 분리기를 경유하여 루츠 펌프의 기어 챔버를 펌프 다운하는 것이 실용적입니다. 이것 은 기체가 기어 챔버 밖으로 흘러 나가 흡입실로 흘러 들어가 는 것을 방지함으로써 원하는 작업 압력에 더 빠르게 도달하 게 해줍니다. 원하는 작동 압력은 기어 챔버를 루츠 펌프의 배압 진공 측면으로 연결하는 것이 가능한지 아닌지를 결정 합니다.

플러싱 장치

플러싱 장치는 흡입실에서 퇴적물이 형성되는 공정에 사용 될 수 있습니다. 이 장치의 설계는 특수한 요구조건을 기초호 해서 고객과 개별 조정됩니다. 포준 펌프의 플러싱 장치는 플 러싱 액체가 베어링 또는 기어 챔버에 도달하는 것을 방지하 기 위하여 밀봉 기체의 사용을 요구합니다.

표면 보호

펌프 매개체가 부식성일 경우 제품과 접촉하는 구성품은 내 구성이 있는 표면 보호가 제공될 수 있습니다. 플라스마 폴리 머 박층 시스템은 접착제층, 부식 보호층, 비접착 코팅으로 구성됩니다. 층의 두께는 1 m m 미만입니다. 요구가 있으면 흡입실은 인산엽화되고, 질소로 환기되고, 단기 표면 보호를 제공하기 위하여 진공 밀봉됩니다(창고 저장 및 수송).

루츠 진공 펌프는 FKM으로 만들어진 오링이 공장에서 장착 된 제품입니다. 특수 어플리케이션의 경우 모든 펌프는 각각 의 어플리케이션에서 필요한 특정한 오링 또는 실이 장착될 수 있습니다.

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