4.7.2 어플리케이션

낮은 압축비로 인하여 루츠 펌프는 항상 진공 생성을 위한 펌 프 조합으로써 작동되어야 합니다. 이 펌프가 도달 가능한 최 종 압력은 선택된 배압 펌프의 최종 압력과 관계가 있습니다. 흡착을 통한 기체 이송으로 인하여 10-4 hPa 이하의 범위에 서 루츠 펌프를 사용하는 것은 더 이상 실용적이 아닙니다. 다양한 배압 펌프에서 펌핑 스테이션의 펌프 속도와 최종 압 력 행동은 그림 4.19에 나와 있습니다. 곡선은 이런 종류의 펌프 조합의 펌프 속도가 8의 인수만큼 상승하며 최종 압력 이 배압 펌프에 비해 15의 인수만큼 감소함을 보여줍니다.

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