Vacuum Technology Book, Volume II

4.7.3.2 자석 커플링이 있는 표준 펌프

M 시리즈는 밀봉 시 가장 요구조건이 가장 업격하고 가장 긴 서비스 간격을 요구하는 공정에 사용될 수 있습니다. 대부분 의 경우 이 시리즈는 표준 시리즈와 동일하지만 방사상 샤프 트 실 링 대신 용접 밀봉된 자석 커플링이 있다는 것이 추가 적인 특징입니다. 이것은 작동 시 현실적으로 마모가 없음을 의미합니다. 펌프의 전체 누출률은 1 · 10-6 Pa · m3 · s-1 미만 입니다. 그래서 오일 누츨 가능성이 없으며, 공정 기체와 환 경 사이엔 어떤 교환도 없습니다. M 시리즈 표준 펌프는 표 4.19에 나와 있는 모든 어플리케이션에 적합합니다. 그렇지만 이 펌프는 최고 청정 기체 어플리케이션(예: 반도체 산업의 CVD 및 PVD 공정 또는 부하 락/이송 챔버 비우기 및 평면 스크린 생산) 뿐만 아니라 유독성 기체의 배출을 위한 산업/화학 어플리케이션에도 채용될 수 있습니다. M 시리즈 는 범위가 250 m3 · h-1 ~6,000 m3 · h-1 인 크기에서 사용 가능 합니다.

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