Vacuum Technology Book, Volume II

4.1.8 밀봉 기체

부식성 공정 기체를 배출할 때는 기체가 펌프의 부품을 공격 할 위험이 있습니다. 이런 위험에 대응하기 위해서는 민감한 부품들이 연속적인 불활성 기체 흐름에 의해 보호되어야 합 니다. 펌프는 따라서 제한된 위치에서 기체가 펌핑 시스템으 로 흘러 들어가는 기체 유입 시스템에 맞춰집니다. 터보분자 펌프에서 보호가 필요한 것은 주로 베어링과 모터 컴파트먼 트입니다. 밀봉 기체의 모터 컴파트먼트 유입은 먼지와 입자 가 윤활제 보유고 속으로 들어가 윤활제와 섞이는 것을 방지 할 뿐만 아니라 윤활제나 베어링의 부식에 민감한 구성품들 과 공격적인 기체들의 화학 반응에 반하여 보호합니다. 모터 를 보호하고 입자들이 들어가 샤프트와 비상 베어링 사이의 접촉을 유발하지 않도록 방지하기 위한 밀봉 기체의 사용은 예를 들어 윤활제가 없는 터보 펌프에도 권장됩니다.

베어링에 대한 밀봉 기체 이외에도, 처리 가능한 건조 배압 펌프는 정화기체가 공정 펌프의 개별 펌핑 단계에 주입되도 록 할 수도 있습니다. 처리 의존적 정화 기체 흐름은 보정된 노즐이나 유량 조절기(질량 유량 조절기, MFC)의 압력 조절 기 업스트림을 사용하여 조정되고, 압력 센서와 스위치에 의 해 모니터링됩니다.

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