Vacuum Technology Book, Volume II

4.1.2 펌프 속도와 처리량

펌프 속도 $S_0=\frac{dV}{dt}$

(공식 1-17)는 진공 펌프의 유입구의 횡단면을 통한 평균 부 피 흐름입니다. 다이어그램에서 체적 유량률 또는 펌프 속도 는 Y 축에 표시되고 유입구 압력은 X 축에 표시됩니다. 기하 학 때문에 펌프가 도달할 수 있는 최대 펌프 속도는 자신의 정격 펌핑 속도라 불립니다. 펌프 속도의 결정은 기준 표준 ISO 21360-1: 2012에 설명되어 있습니다. 펌프 속도는 m3 · s-1 로 표시됩니다. m³ · h-1, l · s-1 및 l · min-1 도 관례적인 단위 입니다.

처리량 $q_{pV}=S \cdot p=\frac{dV}{dt} \cdot p$

(공식 1-16)은 유입구 압력에 따른 진공 펌프의 기체 처리량 을 의미합니다. 이것은 Pa · m3 · s-1 또는 hPa · l · s-1 = mbar · l · s-1 로 표현됩니다. 기체 변위 펌프로 구성되는 펌핑 스테 이션의 경우 직렬로 연결된 모든 펌프는 동일한 처리량을 갖 습니다.

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