Vacuum Technology Book, Volume II

4.8.2 어플리케이션

측면 채널 진공 펌프는 깨끗한 고진공을 생성하는 데에 특히 적합합니다. 이 펌프는 대기 측면에 한 개의 오일 윤활 베어 링만 있기 때문에 완전히 건식으로 작동합니다. 이 펌프는 어 떤 배압 펌프나 바이패스 라인을 요구하지 않기 때문에 부하 락 또는 이송 챔버의 빠른 비우기에 이상적으로 적합합니다. 이 펌프는 독립형 펌프 또는 터보 펌프용 배압 펌프로 사용될 수 있습니다. 부식성 기체, 응축물, 부유성 고형물은 좁은 틈 새로 인해 배출될 수 없습니다.

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