Vacuum Technology Book, Volume II

4.9.3.3 드라이브 및 부속품

서로 다른 어플리케이션에서 터보 펌프를 작동하는 데에는 확장 부품 뿐만 아니라 다양한 제어, 디스플레이, 드라이브를 사용 가능합니다.

아래에 사용된 번호 지정은 그림 4.31에 기초한 것입니다.

터보 펌프(1a)에는 일반적으로 부착된 드라이브(1b)가 장착 됩니다. 예를 들어 직류 전원 공급은 디스플레이 제어 유닛 (2b)이 있는 플러그인 전원 공급 모듈(2a)에서 공급됩니다. 내장 전원 공급 유닛도 사용 가능합니다. USB 변환기(5b)도 프로그래밍 및 스위칭 기능을 실행하거나 상태 디스플레이 를 전송하기 위하여 PC(5a)를 RS-485 인터페이스에 연결하 기 위해 사용될 수 있습니다. Profibus DP 및 DeviceNet 변환 기를 사용하면 펌프를 시스템 제어기에 연결할 수 있습니다. 주요 스위칭 기능은 외부 신호를 사용하여 원격 제어 플러그 를 경유하여 실행될 수도 있습니다. 또한 일부 상태 디스플레 이는 계전기 출력에서 실행될 수 있습니다.

작동 장치 이외에도 특수 어플리케이션을 위하여 다양한 부 속품이 사용 가능합니다.

터보 펌프의 정보 뿐만 아니라 압력을 표시하기 위하여 일부 DCU 전원 공급 유닛을 사용하여 진공 측정기에 연결할 수 있습니다.

DCU 전원 공급(2a)은 배압 펌프 계전기 박스(6)의 도움을 받 아 터보 펌프(1a)와 배압 펖프에서 동시에 켤 수 있는 펌핑 스테이션 제어기로 전환될 수 있습니다.

펌프를 냉각하기 위해서는 높은 기체 부하를 위한 팬(4)이든 수냉(3)이든 부착될 수 있습니다.

터보 펌프 부속품의 예(HiPace 300용)

그림 4.31: 터보 펌프 부속품의 예(HiPace 300용)

전기 환기 밸브(8)는 RPM이 주어진 속도 아래로 떨어질 경 우 터보 펌프를 환기합니다. 짧은 정전인 경우엔 진공을 유지 하기 위하여 환기 밸브가 닫힘 상태를 유지합니다. 그런 다음 에 본선 전압이 복구되면 펌핑 스테이션이 즉시 재시작합니 다. 그러나 이렇게 되면 정전될 경우 자동으로 닫히는 안전 밸브가 있는 배압 펌프가 필요합니다.

UHV 어플리케이션의 경우, 사전 선택된 회전 속도에 도달한 후에 자동으로 켜지고, rpm이 감소하면 꺼지는 펌프에 히터 (9)가 연결될 수 있습니다.

밀봉 기체 스로틀(7a)뿐만 아니라 대응하는 처리량을 가진 다양한 크기의 전자기 밀봉 기체 밸브(7b)가 부식성 기체 펌 프에 사용 가능합니다.

자세한 내용은 당사의 제품 카탈로그의 3.1장 터보 펌프를 참조하십시오.

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