Pfeiffer Vacuum

4.9.3.2 활성 자기 부상 터보 펌프

표 4.22에는 활성 5-축 자기 부상 베어링이 있는 터보 펌프의 특성이 나와 있습니다.

이 펌프들 역시 다음과 같이 사용 가능합니다.

  • ISO-K 또는 ISO-F 플랜지가 있는 HiPace® M: 표준 어플 리케이션에서 고진공을 생성하기 위한 홀벡 단계가 있는 HiPace 터보 드래그 펌프
  • CF 플랜지가 있는 HiPace® M: 초고진공을 생성하기 위 한 홀벡 단계가 있는 HiPace 터보 드래그 펌프
  • ATP M: 가벼운 기체에 대한 압축비가 높고 입자 허용치가 높은 홀벡 단계가 없는 클래식한 터보 펌프
  • AATH M 및 MT: 부식성 기체 어플리케이선을 위한 홀벡 단 계, 밀봉 기체 시스템, 가열이 있는 터보 드래그 펌프
ATH M 자기 부상 터보 펌프

그림 4.30: ATH M 자기 부상 터보 펌프

자기 부상 터보 펌프
모델 펌프 속도 압축비 기체 처리량* 어플리케이션
HiPace 300 M 255 l · s-1 > 1 · 1011 28 hPa · l · s-1 분석, 코팅, R&D
ATH 500 M / MT 520 l · s-1 > 2 · 107 67 hPa · l · s-1 반도체, 코팅, R&D
HiPace 700 M 685 l · s-1 > 1 · 1011 13 hPa · l · s-1 분석, 코팅, R&D
HiPace 800 M 790 l · s-1 > 1 · 1011 13 hPa · l · s-1
ATH 1603 M 1,370 l · s-1 > 6 · 108 67 hPa · l · s-1 반도체, 코팅, R&D: 유리 코팅, 태양전지 제조, 표면 마감, CVD, PVD/스퍼터링, 이온 주입, 플 라스마 물리학
ATH 1600 MT 1,370 l · s-1 > 5 · 108 67 hPa · l · s-1
ATH 2303 M 1,950 l · s-1 > 1 · 108 67 hPa · l · s-1
ATH 2300 MT 1,950 l · s-1 > 1 · 108 67 hPa · l · s-1
ATP 2300 M 1,850 l · s-1 > 1 · 108 37 hPa · l · s-1
ATH 2800 M 2,150 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1
ATH 2800 MT 2,150 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1
ATH 3200 M 2,700 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1
ATH 3200 MT 2,700 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1

*) 기체 처리량은 구동에 따라 달라집니다.
표 4.22: 질소에 대한 자기 베어링 터보 펌프의 성능 데이터

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