Vacuum Technology Book, Volume II

4.2 회전 날개 진공 펌프

4.2.1 설계 / 작동 원리

회전 날개 진공 펌프는 오일 밀봉 회전 변위 펌프입니다. 펌 핑 시스템은 하우징(1), 편심 설치 로터(2), 원심력과 탄성력 하에서 방사상으로 이동하는 베인(3)과 유입구 및 출구(4)로 구성됩니다. 사용 가능한 경우, 유입 밸브는 작동 중에 항상 열려 있는 진공 안전 밸브로 설계됩니다. 작업 챔버(5)는 하 우징 내부에 위치해 있고 고정자, 로터, 날개에 의해 제한됩 니다. 편심 설치 로터와 날개는 작업 챔버를 다양한 부피를 가진 두 개의 분리 컴파트먼트로 나눕니다. 로터가 회전할 때 기체는 이차 날개에 의해 밀봉될 때까지 확대 흡입실로 흘러 들어갑니다. 에워싸인 기체는 배출 밸브가 대기압에 반하여 열릴 때까지 압축됩니다. 배출 밸브는 오일 밀봉됩니다. 밸브가 열리면 소량의 오일이 흡입실로 들어가서 하우징(고 정자)에 반하여 날개를 윤활할 뿐만 아니라 밀봉합니다.

회전 날개 펌프의 작동 원리

그림 4.2: 회전 날개 펌프의 작동 원리

기체 밸러스트가 작동되는 경우엔 외부로 난 구멍이 열려서 전면의 밀봉된 흡입실로 흘러 들어갑니다. 그 결과 배출 밸브 를 여는데 필요한 압력은 압축 펌핑 단계 동안 상대적으로 낮 은 압축에 도달합니다. 이는 변위된 기체/증기 혼합물이 증기 가 응축되기 시작하기 전에 배출되게 해줍니다. 기체 밸러스 트와 함께 작동하는 동안 도달된 최종 압력은 기체 밸러스트 없이 작동될 때보다 더 높습니다.

작동 유체, 오일

작동 유체라고도 불리는 펌프 오일은 회전 날개 펌프에서 수 행해야 할 여러 가지 일이 있습니다. 움직이는 모든 부품을 윤활하고, 유입구와 출구 사이의 좁은 틈새 뿐만 아니라 배출 밸브 아래에서 불감 부피를 채웁니다. 날개와 작업 챔버 사이 의 틈새를 압축하고, 추가로 열 전달을 통하여 최적 온도 균 형을 보장합니다.

다 단계 펌프

회전 날개 진공 펌프는 1단계 및 2단계 버전에 설치됩니다. 2 단계 펌프는 1단계 펌프보다 더 낮은 최종 압력을 달성합니 다. 게다가 최종 압력에서 기체 밸러스트의 효과는 더 낮습니 다. 왜냐하면 기체 밸러스트는 높은 압력 단계에서만 받아들 여지기 때문입니다.

진공 안전 밸브

해당 펌프 유형에 따라 회전 날개 진공 펌프에 진공 안전 밸 브가 장착될 수 있습니다. 진공 안전 밸브는 의도적인 정지 또는 비의도적인 정지의 경우에 진공실에서 펌프를 분리하 고, 오일이 진공실로 흘러드는 것을 방지하기 위하여 변위된 기체를 사용하여 펌핑 시스템을 환기합니다. 펌프 전원을 켠 후에 진공 안전 밸브는 펌프 내 압력이 진공실과 근사한 압력 에 도달하면 잠시 지연된 후에 열립니다.

이 웹 사이트는 당신이 우리의 웹 사이트에서 최고의 경험을 얻을 수 있도록 하기 위하여 쿠키를 사용합니다. 더 많은 정보