Vacuum Technology Book, Volume II

4.2.2 어플리케이션

회전 날개 진공 펌프는 전체 저진공 및 중간 진공 범위에서 범용으로 사용될 수 있습니다. 해당 압력 범위에 따라 1단계 또는 2단계 펌프가 사용될 수 있습니다. 펌프 작동 압력 및 대기압에서 펌프 다운 매개체가 응축되지 않는 이상적인 작 동 조건이 항상 존재합니다.

증기

압축 단계 동안 펌프 속에서 완전히 또는 부분적으로 응축될 수 있는 증기는 증류 및 건조 공정 동안 변위되어야 합니다. 이 경우에 기체 밸러스트 밸브를 여는 것은 응축 없이 펌프를 통하여 증기를 변위하는 데에 도움이 됩니다. 하지만 증기 호 환성이 응축을 방지하기에 항상 충분한 것은 아닙니다. 응축 물은 오일과 혼합되어 최종 압력이 증가하게 만들고 작동 유 체의 윤활 용량을 감소시킵니다. 이 요인들은 펌프 내부에서 부식을 일으킬 수 있습니다. 증기를 배출하기 전에 펌프는 기 체 밸러스트와 함께 최소 30분 동안 가열되어야 합니다. 작 동 유체의 더 높은 온도는 응축을 감소시킵니다. 응축을 감소 시키는 추가 측정에는 가능한 최저 출구 압력의 도달과 응축 물의 분리 제거가 포함됩니다. 유입구와 출구의 양측면에 있 는 응축물 분리기는 이런 목적으로 사용되어야 합니다. 출구 의 배압은 오일 분무 필터와 수직 배기 가스 라인으로 방지되 어야 합니다. 추출 시스템이 사용 가능할 경우 출구는 추출 시스템에 연결되어야 합니다.

먼지, 입자, 화학 물질

일정한 한계 내에서 필터와 분리기가 마모와 부식으로부터 진공 펌프를 보호할 수 있습니다. 폴리에스터(SAS)가 충진된 분리기나 에폭시 유리 마이크로화이버(DFT) 필터 장착물은 먼지를 결합합니다. 활성 탄소 필터(FAK)는 무기질 증기를 결합하고, 필터 충진은 대체 가능합니다.

유입 탄화수소(유증기)는 가열된 촉매 트랩(URB)에서 촉매 반응으로 소각되고, 제올라이트 트랩(ZFO 또는 ST)은 다양 한 증기를 흡착합니다. 포화될 경우엔 스스로를 베이크 아웃 하여 재생될 수 있습니다. 응축물은 응축물 분리기(KAS 또는 CT)에 수집되어 수동으로 배출될 수 있습니다. 화학적 오일 필터(OFC)는 회전 날개 펌프에 통합된 오일 펌프의 도움으 로 펌프 오일을 청소합니다.

기체 처리량이 높고 기체 밸러스트와 함께 작동될 때, 오일 분무는 펌프 외부에서 혼입됩니다. 100 kPa · m³의 기체 처 리량에서는 4 ml의 오일 손실을 가정할 수 있습니다. 유증기 는 오일 분무 필터(ONF 또는 OME)에서 분리되어 추가 회수 라인(ORF or ODK)을 통하여 펌프의 오일 순환 체계로 회수 될 수 있습니다.

그러나 펌프 오일을 화학적으로 공격하거나 증기압이 너무 낮아 기체 밸러스트와 위에서 언급한 부속품이 있음에도 불 구하고 펌프 내의 응축을 피할 수 없는 물질들이 변위될 경 우, 서로 다른 종류의 배압 펌프가 선택되어야 합니다.

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