Vacuum Technology Book, Volume II

4.2.3.2 2단계 회전 날개 진공 펌프

2단계 회전 날개 펌프는 10 -3 hPa의 압력보다 낮은 저진공 및 중간 진공 범위의 어플리케이션에 적합합니다. 통합된 기 체 밸러스트 공급 원료는 응축 가능한 증기가 펌프 다운 되게 해줍니다.

DuoLine

DuoLine 회전 날개 진공 펌프는 펌프의 크기에 따라 교류 또 는 직류 모터로부터 전원을 공급 받습니다. 표준 모델 이외에 도 다음과 같은 디자인도 사용 가능합니다. 자기 결합 펌프 (Duo M 시리즈)와 부식성 기체 펌프로, 둘 다 자석 커플링이 있을 수도 있고 없을 수도 있습니다(Duo MC 시리즈).

Duo M series

M 시리즈 펌프들은 용접 밀봉된 자석 커플링이 장착되어 있습 니다. 이 마모 없는 밀봉 개념이 펌프를 용접 밀봉하여 깨끗하 고 환경친화적으로 만듭니다. 자석 커플링은 정비를 최소화하 여 상당한 절약을 이끕니다.

DuoLine
모델 펌프 속도 최종 압력 어플리케이션
Duo 1,6 1.25 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa 터보 펌프 펌핑 스테이션, 분석, 연구 및 개발, 코팅
Duo 3 2.5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 6 5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 11 9 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 35 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 62 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 125 115 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 255 250 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

표 4.4: DuoLine 성능 데이터

Duo M series
모델 펌프 속도 최종 압력 어플리케이션
Duo 1,6 M 1.25 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa 터보 펌프 펌핑 스테이션, 분석, 연구 및 개발, 코팅, 비폭발성 유독성 기 체
Duo 3 M 2.5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 6 M 5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 11 M 9 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 35 M 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 M 62 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 125 M 115 m³ · h-1 2 . 10-3 hPa
Duo 255 M 250 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

표 4.5: Duo M 시리즈 성능 데이터

Duo MC 시리즈

MC 시리즈 펌프는 부식성 기체 어플리케이션에 적합합니다. 표준 펌프와 대조적으로 특수한 기체 밸러스트 밸브가 있으 며, 이를 통해 불활성 기체가 펌프 속으로 유입될 수 있습니 다. 또한 이 펌프들은 특히 화학 물질에 저항력이 있는 특수 날개들이 장착되어 있습니다. MC 시리즈의 모든 부식성 기 체 펌프는 화학적 저항 F4 또는 F5(퍼플루오르폴리에터) 작 동 유체로 작동 준비 완료됩니다. Duo MC 펌프는 용접 밀봉 된 자석 커플링이 기체가 외부로 빠져나가는 것을 방지하기 때문에 유독성 기체의 펌핑에 적합합니다.

Pascal

펌프 속도 등급이 5~21 m3 · h-1 인 Pascal 시리즈의 회전 날 개 진공 펌프는 직류 또는 교류 모터가 내장되어 있습니다. 유입구 및 출구 플랜지는 이상적인 통합을 위하여 또는 부속 품이 부착되도록 하기 위하여 수직 또는 수평이 될 수 있습니 다. 표준 범위 외에도 강제 윤활하는 I 시리즈와 두 개의 서로 다른 부식성 기체 시리즈도 사용 가능합니다.

SD 시리즈

회전 날개 진공 펌프의 SD 시리즈는 비부식성 기체를 위해 설계되었습니다. 자연 윤활(펌프 속도 등급이 최대 21 m3 · h-1) 은 배기 시 오일 방전 양을 감소시킵니다. 낮은 펌프 온도는 장기 작동 시 최종 압력의 오일 역류를 최소로 줄입니다.

펌프 속도 등급이 최대 21 m³ · h-11 인 모든 다른 펌프에서와 마찬가지로 펌프 샤프트 실은 펌프 블록을 분해하지 않고 접 근 가능하며 그 결과 필드 정비가 수월합니다.

I 시리즈

I 시리즈 펌프는 강제 윤활이 장착되어 있습니다. 이것은 SD 시리즈와 비교할 때 수증기 허용치를 향상시킵니다. 강제 윤 활은 I 시리즈 펌프가 저잡음 수준 및 저진동에 도달하게 해 줍니다.

C1 시리즈

C1 시리즈의 강제 윤활 펌프는 FPM 실, 크롬 산화물 코팅 샤 프트, 특수 재료를 사용한 하우징, 날개, 샤프트 슬리브, 투시 창으로 인하여 부식성 기체 어플리케이션에 특히 적합합니 다. 이 시리즈의 가장 큰 두 모델은 또 오일 필터와 오일 케이 스 플러싱 장치를 통합했습니다.

C1 시리즈는 광유를 공급 받습니다.

Duo MC 시리즈
모델 펌프 속도 최종 압력 어플리케이션
Duo 20 MC 20 m³ · h-1 5 · 10-3 hPa 부식성 기체 어플리케이션, 화학 연구실, 유독성 비폭발성 기체
Duo 35 MC 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 MC 62 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

표 4.6: Duo MC 시리즈 성능 데이터

Pascal SD 시리즈
모델 펌프 속도 최종 압력 어플리케이션
2005 SD 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 산업 어플리케이션, 분석, 연구 및 개발, 누출 감지
2010 SD 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 SD 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 SD 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 SD 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 SD 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

표 4.7: Pascal SD 시리즈 성능 데이터

Pascal I 시리즈
모델 펌프 속도 최종 압력 어플리케이션
2005 I 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 분석, 연구 및 개발, 건조, 증류
2010 I 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 I 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 I 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa

표 4.8: Pascal I 시리즈 성능 데이터

C2 시리즈

C2 시리즈의 펌프도 강제 윤활이 장착되어 있습니다. 베어링 윤활, 작동 유체의 탈기체화를 위한 중립 기체 플러싱 시설, 특수 재료를 사용한 날개가 있는 이 펌프의 비부식성 기체 장 비는 C1 시리즈보다 뛰어납니다. 이 시리즈의 가장 큰 두 모 델 역시 압력 센서 및 오일 온도 센서를 위한 연결에 맞춰집 니다. 이 비부식성 기체 장비를 갖춘 Pascal C2 펌프는 반도 체 제조의 식각 및 코팅 공정에 특히 적합합니다.

C2 시리즈는 과불소화 작동 유체를 공급 받습니다.

Pascal C1 시리즈
모델 펌프 속도 최종 압력 어플리케이션
2005 C1 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 부식성 기체 어플리케이션, 화학 연구실, 부하 락 및 이송 챔버, 화학적 어플리케이션, 살균
2010 C1 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 C1 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 C1 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 C1 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 C1 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

표 4.9: Pascal C1 시리즈 성능 데이터

Pascal C2 시리즈
모델 펌프 속도 최종 압력 어플리케이션
2010 C2 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 코팅, 반도체(CVD, 플라스마 식각, 주입), 순수한 산소 펌핑
2015 C2 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 C2 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 C2 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 C2 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

표 4.10: Pascal C2 시리즈 성능 데이터

오일 유 형 설명 도달 가능 최종 압력 어플리케이션 HenaLine, UnoLine Plus, DuoLine, OktaLine Pascal
P3 표준 어플리케이션용 광유 극히 낮은 증기압 < 1 · 10-3 hPa 공기, 비부식성 기체, 주요 기체
A120 첨가제 없는 일반 목적 광유, 50Hz 용 다목적 오일 < 3 · 10-3 hPa 공기, 비부식성 기체, 주요 기체; 높은 점도
D1 표준 및 특수 어플리케이션용 다이 에스테르 오일 < 5 · 10-2 hPa 공기, 비부식성 기체, 주요 기체, 산소, 공격 성이 순화된 유기 용제
A155 유기 에스테르 기반의 합성 오일 < 3 · 10-3 hPa 탄화수소 증기, NH 3 , R134a, 냉각제; 내산화 성, 중합 저항(낮고 가벼운 최적물)
F4 특수 어플리케이션용 퍼플루오르 < 1 · 10-3 hPa 산소, 오존, 할로겐, 유기 및 무기 용제, HCl, BF3 , HF < 20 m³ h-1 펌프용
F5 > 20 m³ h-1 펌프용
A113 퍼플루오르폴리에터 합성유 < 5 · 10-3 hPa 산소, 오존, 할로겐, 유기 및 무기 용제, 높은 내부식성 기체, 플라스마 식각에 적합
A119 첨가제 없는 일반 목적 광유, 60Hz 용 다목적 오일 < 3 · 10-3 hPa 공기, 비부식성 기체, 주요 기체; 낮은 점도, 저온에서 양호한 시작 속성
A121 산화 방지 첨가제가 든 이중 증류 광합성유 < 3 · 10-3 hPa 대기압에서 주기적 펌핑, 고온 및 고압용, 산 성 및 유기 증기 저항, 플라스마 식각에 부 적합
A102 항유화제가 든 광유 < 3 · 10-2 hPa 오일과 물 분리(항유화), 수증기 건조 및 펌 핑, 냉동 건조
A111 첨가제가 든 탄화수소 항유화 광유 < 1 · 10-2 hPa 기체 순환 및 기체 회수; 산화 민감(대기압에 서 빈번한 사이클에 부적합)
A200 온도 안정적 광합성유 < 2 · 10-3 hPa 부식성 기체 및 이온화 플라스마에 저항, 낮 고 가벼운 역류
A300 첨가제 없는 이중 증류 백색 광유 < 5 · 10-3 hPa 부식성 기체 및 이온화 플라스마에 높은 저 항, 할로겐 및 Lewis 산에 저항; 낮고 가벼 운 역류

표 4.11: 배압 펌프와 루츠 펌프의 오일 유형

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