Vacuum Technology Book, Volume II

4.2.3.4 부속품

먼지 분리기(SAS 또는 DFT)

공정이 먼지를 발생시킬 경우 먼지 분리기가 펌프의 업스트 림에 설치되어야 합니다. 왜냐하면 입자들이 점차 마모되어 윤활 회로를 막기 때문입니다. 펌프에 연결 플랜지를 끼워맞 출 수 있는 다양한 유형이 있습니다.

응축물 분리기(KAS 또는 CT)

증기를 펌프 다운할 때 응축물이 진공 시스템의 출구 라인에 서 형성될 수 있고, 이 응축물은 윤활 속성에 거꾸로 영향을 주거나 부식을 초래할 수 있습니다. 이런 응축물로부터 펌프 를 보호하기 위하여 유입구 라인 및 출구 라인 모두에 응축물 분리기를 설치할 것을 권장합니다.

오일 분무 분리기(ONF 또는OME)

오일 분무 필터로도 알려져 있는 오일 분무 분리기는 회전 날 개 펌프의 출구 포트에 장착되어 있습니다. 이들은 작동 압력 에 따라 펌프가 더 크거나 더 작은 양으로 방전하는 오일 분 무에 의해 공기가 오염되는 것을 방지합니다. 분리기는 실린 더형 필터 요소와 오일 수집 챔버가 있는 플라스틱 또는 알루 미늄 하우징으로 구성되어 있습니다.

오일 회수 시스템(ORF 또는 ODK)

오일 회수 시스템의 목적은 분무된 펌프 오일을 수집하고 회 수하는 것입니다. 이 시스템은 특히 높은 압력 어플리케이션 또는 빈번한 주기적 작동에서 회전 날개 펌프로부터 작동 유 체의 높은 방전을 포함하는 모든 어플리케이션을 위하여 사 용됩니다. 오일 회수 시스템을 사용하면 작동 비용이 절감되 고 특히 불소 및 핵 기술에서 특수 오일이 사용되는 공정 안 정성이 향상됩니다. 오일 분무 분리기에 사용되는 오일은 대 량으로 수집되어 진공 펌프로 회수됩니다.

제올라이트 트랩(ZFO 또는 ST)

제올라이트 트랩은 회전 날개 진공 펌프에서 유입구 측면의 진공 구성품이나 용기로 탄화수소가 역류하는 것을 방지하 기 위하여 흡착을 사용합니다. 흡착제는 베이크 아웃으로 재 생될 수 있습니다. 재생 간격은 관련 공정에 따라 다를 수 있 습니다.

촉매 트랩(URB)

촉매 트랩은 1단계 또는 2단계 회전 날개 진공 펌프에서 탄 화수소의 역류를 방지합니다. 이것은 CO 2 및 수증기를 형성 하기 위한 250°C의 작동 온도에서 탄화수소의 촉매 소각로 를 통하여 수행됩니다. 주기적 환기를 통하여 공정 챔보로 유 입되는 산소는 자력 재생에 충분합니다. 이것은 재생 간격이 해당 공정과 무관함을 의미합니다. 유입구 포트 트랩의 직접 설치 및/또는 1단계 회전 날개 펌프의 사용을 위하여 수냉이 요구됩니다.

활성 탄소 필터(FAK)

광범위한 화학 물질이 존재할 경우 활성 탄소 필터가 사용됩 니다. 활성 탄소 필터엔 증기가 가득한 용체, 산, 알칼리성 용 액 뿐만 아니라 황화 수소, 시안화물, 수은, 암모니아, 황산화 물, 질소 기체가 포함됩니다. 활성 탄소 필터는 첫 번째 봉으 로 공급됩니다. 이 봉은 교체 가능합니다. 이 봉의 사용 수명 은 관련 공정에 따라 다릅니다.

기계적 및 화학적 오일 필터(OFM, OFC 또는 DE)

화학적 오일 필터는 회전 날개 펌프의 오일 순환 체계에 삽입 됩니다. 이 오일 필터는 작동 유체에 닿는 먼지 또는 부유성 고형물을 공정에서 분리합니다. 또한 화학적 오일 필터는 오 일로부터 부식성 물질을 흡착합니다. 이것은 펌프의 마모를 줄이고 사용 수명을 연장시킵니다.

질소 콜드 트랩(KLF 또는 LNT)

질소 콜드 트랩은 진공 시스템과 회전 날개 펌프 사이에 삽입 됩니다. 이것은 공정 기체 흐름에서 응축 가능한 매개체를 얼 립니다. 회전 날개 펌프는 이런 방식으로 화학적 또는 용제 공격으로부터 효과적으로 보호될 수 있습니다. 이 트랩은 표 준 알루미늄 버전에서 또는 부식 저항 스테인레스강 버전에 서 사용 가능합니다. 냉각수의 사용 및 사용 수명은 특별한 어플리케이션에 따라 다릅니다.

극저온 용기를 배울 때 콜드 트랩 역시 작동 유체 증기가 회 전 날개 펌프에서 역류하는 것으로부터 진공실을 보호할 수 있습니다.

자동 기체 밸러스트 밸브(AGB)

자동 기체 밸러스트 밸브는 수동 기체 밸러스트의 전기적 원 격 제어 버전입니다. 이것은 기체가 펌프의 높은 압력 단계로 유입되게 해주는 한 개의 전자기 밸브(무전류 시 닫힘)로 구 성됩니다. 자동 기체 밸러스트는 중립 기체 소스에 연결될 수 있습니다. 자동 밸브는 빈번하게 사용될 경우 또는 펌프 접근 이 제한될 경우에 사용되어야 합니다.

오일 수준 모니터링(OLS)

오일 수준 모니터링 장치는 오일 탱크와 투시창 사이의 회전 날개 펌프에 직접 장착됩니다. 많은 수의 펌프가 모니터링되 어야 하거나 펌프가 접근이 어려운 작동 환경에서 설치될 경 우에 오일 수준 모니터링 시스템은 펌프가 편안하게 모니터 링되도록 해줍니다.

선택된 유형의 펌프일 경우 회전 날개 펌프의 한 개 이상의 작동 매개변수를 모니터링하는 작동 모니터링 장치를 사용 가능합니다. 여기엔 오일 압력, 오일 수준, 작동 유체의 온도, 출구 온도가 포함됩니다.

회전 날개 펌프용 부속품

그림 4.4: 회전 날개 펌프용 부속품

격막 진공 펌프의 작동 원리

그림 4.5: 격막 진공 펌프의 작동 원리

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