Pfeiffer Vacuum

5.1 전체 압력 측정의 기초

압력은 다음과 같이 단위 면적 당 힘으로 정의됩니다. p = F/A (공식 1-3), 이때 F는 힘이고 A는힘이 적용되는 면적. 압 력 단위 SI은 1 N / m2 = 1 Pa입니다. 다른 주파수 사용 압력 단위는 다음과 같습니다. 1 mbar = 1 hPa = 100 Pa 및 1 Torr = 133,322 Pa. 어떤 면적에 행사되는 힘을 경유하여 압 력을 측정할 경우, 압력 측정은 기체의 유형에 의존합니다.

힘에 기초한 압력 측정은 1 hPa 미만으 압력에서 한계에 도 달합니다. 왜냐하면 행사된 힘이 너무 작아지기 때문입니다. 결과적으로 다른 공정이 사용되어야 합니다. 예를 들면 에워 싸인 기체의 열 전도성이 사용될 수 있거나, 기체 분자가 이 온화될 수 있거나, 전극 사이의 이온 전류 흐름이 측정될 수 있습니다. 기체 속성으로부터 압력을 결정하는 이 간접적인 측정은 결과적으로 기체의 유형에 따라 달라지는 측정 결과 를 전달합니다.

진공 기술에서 단일 측정 방법으로는 결코 전체 압력 범위를 포괄할 수 없습니다. 따라서 다른 센서를 사용할 필요가 있습 니다. 압력 센서를 선택하는 기준은 다음과 같은 다양한 조건 에 기초합니다.

  • 감지될 압력 범위
  • 기체 구성: 불활성 또는 부식성
  • 요구되는 정확성과 반복성
  • 방사능과 같은 환경적 조건
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