Pfeiffer Vacuum

5.2.1 측정 범위

순수하게 기계적인 다이얼 측정기(스프링 압력 또는 Bour- don 튜브 나노미터)는 1,000 – 1 hPa 압력 범위에서부터 사 용됩니다. 하지만 이 게이지들은 오직 제한된 정확성만 제공 하며 설치 시에만 직접 판독될 수 있습니다. 격막 진공 측정 기(piezo 센서 또는 용량성 센서)는 더 정확한 측정을 얻기 위하여 그리고 판독의 원격 디스플레이를 위하여 사용됩니 다.

Pirani 열전도성 진공 측정기는 10 hPa~10-4 hPa에서 사용됩 니다. $p$ < 10-2 hPa 압력에서는 특수 “고압” 열음극 이온화 진 공 측정기의 사용도 가능합니다.

각각의 저온 음극 이온화 진공 측정기 또는 Bayard-Alpert 이 온화 진공 측정기는 10-3 hPa 미만의 압력에서 사용되며, 후 자는 깨끗한 조건 및 엄격한 정확성 요구조건의 경우에 사용 됩니다. 전체 압력 범위를 사용하기 위하여 두 개 이상의 센 서를 조합하여 사용하는 것도 좋은 생각입니다.

압력 측정 범위와 측정 원칙

그림 5.8: 압력 측정 범위와 측정 원칙

격막 진공 측정기와 Pirani 진공 측정기의 경우, 압력이 충분 히 낮을 경우에만 이온화 진공 측정기를 활성화시키기 위하 여 압력 스위치점이 생성되어 가열된 음극의 오염 또는 단선 으로부터 보호합니다. 결과적으로 당사는 자동 전환 조합 센 서를 공급하며, 이는 아래에 설명됩니다.

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