Pfeiffer Vacuum

5.3 포트폴리오 개요

시리즈

파이퍼 베큠은 액티브 측정기는 단일 또는 조합 센서의 형태 로, 패시브 측정기는 단일 센서로 제공합니다. 서로 다른 전 기 인터페이스와 센서 전자를 갖춘 세 개의 제품 라인을 사용 가능합니다.

    압력 범위
진공 초고 중간  
hPa 10-11 10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102 103 104
진공 측정기 모델                                  
DigiLine
Piezo-분리 측정기 CPT 200
Piezo/Pirani 측정기 RPT 200
Pirani 측정기 PPT 200
Pirani/저온 음극 측정기 MPT 200
Pirani/Bayard-Alpert 측정기 HPT 200
ActiveLine
Piezo 측정기 APR 250
APR 260
APR 262
APR 265
APR 266
APR 267
용량형 측정기 온도 보상 CMR 361
CMR 362
CMR 363
MR 364
CMR 365
용량향 측정기 온도 제어 CMR 371
CMR 372
CMR 373
CMR 374
CMR 375
Pirani/용량형 측정기 PCR 280
Pirani 측정기 TPR 280
TPR 281
저온 음극 측정기 IKR 251
IKR 261
IKR 270
Pirani/저온 음극 측정기 PKR 251
PKR 261
열음극 측정기 IMR 265
Pirani/Bayard-Alpert 측정기 PBR 260
ModulLine
Pirani 진공 측정기 TPR 010
TPR 017
TPR 018
저온 음극 측정기 IKR 050
IKR 060
IKR 070

진공 한계에서의 판독은 측정 원칙에 따라 덜 정확할 수 있습니다.

표 5.2: 진공 측정기 선택 가이드

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