Vacuum Technology Book, Volume II

5.3.2 ActiveLine

ActiveLine 계열에는 0 – 10 volt 아날로그 출력을 가진 세 개 의 제어 유닛과 여덟 개의 액티브 진공 측정기가 포함됩니다. 모든 송신기엔 동일한 커넥터 조립체가 장착되어 있고, 그러 므로 제어 유닛에 있는 동일한 측정 케이블로 작동될 수 있습 니다. 측정 케이블은 1~50미터의 표준 길이에서 사용 가능합 니다.

액티브 piezo 진공 측정기 APR는 5.5MPa(55bar)에서 10Pa(0.1mbar)까지 6개 모델의 5개 측정 범위를 포괄합니 다.

용량성 격막 진공 측정기 CMR은 각각 1100 hPa – 10-5 hPa 인 5개의 측정 범위에서 온도 보상 및 온도 조절 버전의 형태 에서 사용 가능합니다. 서로 다른 정격치(전체 스케일= F.S.) 는 다음과 같은 카테고리를 만들어냅니다.

  • 1,000 hPa F.S. 1,100~10-1 hPa의 압력 범위
  • 100 hPa F.S. 110~10-2 hPa의 압력 범위
  • 10 hPa F.S. 11~10-3 hPa의 압력 범위
  • 1 hPa F.S. 1.1~10-4 hPa의 압력 범위
  • 0.1 hPa F.S. 0.11~10-5 hPa의 압력 범위

파이퍼 베큠의 이 세라믹 기술 측정기는 많은 특히 부식성 어 플리케이션에서 입증된 트랙 기록을 갖고 있습니다.

마이크로 공학에서 일반적으로 사용되는 Torr 및 mTorr의 유 닛과 함께 사용할 경우, 용량성 격막 진공 측정기 CCR엔 다 음과 같이 Torr의 정격치가 공급될 수 있습니다.

  • 1,000 Torr F.S. 1,332~10-1 hPa의 압력 범위
  • 100 Torr F.S. 133~10-2 hPa의 압력 범위
  • 10 Torr F.S. 13.3~10-3 hPa의 압력 범위
  • 1 Torr F.S. 1.33~10-4 hPa의 압력 범위
  • 0.1 Torr F.S. 0.13~10-5 hPa의 압력 범위

CCR 시리즈엔 D-Sub 커넥터가 있고, 전원 공급 및 출력 전 압은 다른 상업용 용량성 송신기와 호환 가능합니다. 그러나 이런 특징으로 인해 ActiveLine 제어 유닛으로는 작동될 수 없습니다.

단일 센서 ActiveLine 송신기의 범위는 1,000 hPa~5 · 10-5 hPa의 중간 진공 범위를 위한 두 개의 액티브 Pirani 진공 측 정기 TPR과 10 -2 ~5 · 10-11 hPa의 측정 범위를 가진 세 개의 액티브 .저온 음극 진공 측정기 IKR로 마무리됩니다

TPR Pirani 측정기는 DCU 펌핑 스테이션 디스플레이 제어 유닛에 연결되어 추가 비용 없이 압력 판독을 제공할 수도 있 습니다.

액티브 열음극 진공 측정기 IMR 265의 센서에 있는 전극(양 극, 음극, 수집기)은 서로의 사이에 있는 굉장히 작은 이간 거 리와 함께 설계됩니다. 분자 흐름은 따라서 p < 10-2 hPa의 압력에서도 우세하고, 그곳에서 이온 전류가 측정되도록 할 수 있습니다. 이 송신기의 추가 이점은 기본적으로 더 낮은 중간 진공 범위에 있는 진공 공정을 제어하는 데에 매우 적합 하게 해주는 Bayard-Alpert 설계보다 오염 감도가 더 낮다는 것입니다.

조합 센서를 가진 다음 액티브 진공 측정기가 사용 가능합니 다.

  • 1,500~5 · 10-4 hPa의 압력 범위에 대한 용량성 격 막-Pirani 조합 측정기 PCR 280; 거대 진공 범위에서 정확 한 격막 센서를 가진 효율적인 Pirani 센서
  • 1,000~5 · 10-9 hPa의 압력 범위에 대한 Pirani 저온 음극 조합 측정기 PKR 251 and 261; 광범위한 진공 어플리케 이션에 대한 강력한 센서의 이상적인 조합
  • 1,000~5 · 10-10 hPa의 압력 범위에 대한 Pirani/Bayard- Alpert 조합 측정기 PBR 260; 센서에 의해 공급된 열음극 필라멘트의 안전성과 결합한 고진공 및 초고고진공 범위 의 이상적인 압력 측정

ActiveLine 측정기는 다음 이점을 제공합니다.

전체 진공 범위의 포괄

  • 모든 요구조건 프로필에 대한 한 개, 두 개, 또는 여섯 개 의 측정 계기를 위한 세 개의 제어 유닛 TPG 261, TPG 262TPG 256 A
  • 자동 측정 인식이 있는 제어 유닛은 설치 오류를 방지함
  • 각 진공 측정기는 모든 제어 유닛으로 작동될 수 있음
  • 모든 측정기에 동일한 표준 케이블의 사용을 통한 각 배선 작업
ActiveLine 어플리케이션 개념

그림 5.10: ActiveLine 어플리케이션 개념

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