Vacuum Technology Book, Volume II

5.3.1 DigiLine

DigiLine 범위의 액티브 측정기는 직렬 RS-485 또는 fieldbus 인터페이스를 경유하여 압력 신호를 제공합니다. 24 VDC로 전원을 공급받습니다. 다양한 어플리케이션 옵션은 그림 5.9에 설명되어 있습니다.

어플리케이션 개념 DigiLine

그림 5.9: 어플리케이션 개념 DigiLine

최대 두 개의 측정기가 작동될 수 있고, 그 압력값은 DPG 202 전원 공급 유닛으로 표시됩니다. DPG 202는 PC 연결용 으로 한 개의 USB 인터페이스가 있습니다. 액티브 DigiLine 진공 측정기로부터 오는 신호는 PLC 또는 PC에 의해 직접 처리될 수도 있고 DokuStar Plus 소프트웨어에 의해 표시될 수도 있습니다.

DigiLine 측정기의 선택적인 버전들은 Profibus-DP 및 DeviceNet fieldbus 표준용 인터페이스와 함께 사용 가능합 니다. 이렇게 되면 진공 측정기는 더 적은 수의 와이어류와 케이이블류 그리고 빠른 초기 시작을 통하여 알려진 모든 절 감 이점을 갖춘 공장 제어 시스템의 fieldbus 네트워크로 쉽 게 통합될 수 있습니다.

더 큰 옵션은 추가 아날로그 출력 및 전환점을 갖춘 DigiLine 측정기입니다. 아날로그 출력은 중앙 제어 시스템과 연결된 송신기의 국부 압력 디스플레이의 설정과 같은 작업에 사용 될 수 있습니다. 전환점은 고정 배선 안전 기능이 컴퓨터 제 어와는 무관하게 제공되도록 해줍니다.

액티브 DigiLine 진공 측정기는 다음과 같은 이점을 제공합니 다.

  • 5 · 10-10 ~2,000 hPa의 압력 범위가 전체 진공 범위를 포 괄함
  • 자유로운 조합 구성품
  • 디지털 신호 덕에 안전한 데이터 전송
  • 압력 값이 숫자로 전송되어서 곡선 교정 또는 전환이 필요 치 않음
  • Profibus-DP 및 DeviceNet fieldbus 인터페이스
  • 데이터가 DokuStar Plus 소프트웨어를 갖춘 PC에서 직접 분석될 수 있음
  • 쉬운 조정을 위한 원격 제어
  • 거친 환경에서 신뢰할만한 작동을 위한 보호 등급 IP54 및 DIN M12 커넥터 조립체

액티브 DigiLine 단일 센서 측정기는 piezo-격막 시스템 CPT 200(2,000 – 1 hPa)과 Pirani 시스템 PPT 200(1,000-10-4 hPa)의 형태에서 사용 가능합니다.

조합 센서가 있는 다음 측정기는 DigiLine 시리즈에서 사용 가능합니다.

  • Piezo-Pirani 조합 RPT 200 p >10 hPa의 압력에 대한 Pirani 진공 측정기의 열 전도 성 효과는 압력과 관계가 없기 대문에 격막 진공 게이지는 p >10 hPa의 압력에서 사용됩니다. 이것은 1,200~1 · 10-4 hPa의 전체 측정 범위에서 양호한 정확성을 제공하 고, 챔버 환기와 같은 공정이 이 측정기에 의해 정확히 제 어될 수 있게 해줍니다.
  • Pirani-저온 음극 조합 MPT 200. 이 조합은 1,000~5 · 10-9 hPa의 압력 범위를 포괄합니다. 저온 음극 측정 센서의 기체 방전은 Pirani 센서로 측정된 압력으로 초기화됩니다. 이 공정의 사용은 초과 압력에서 저온 음극의 우연한 활성화를 방지하고, 따라서 오염을 피 합니다.
  • Pirani/Bayard-Alpert 조합 HPT 200. 이것은 1,000~5 · 10-10 hPa의 압력 범위를 포괄합니다. Pirani 센서에 의한 압력 모니터링은 열음극 측정기가 과 도하게 높은 온도에서 작동하는 것을 방지하고 열음극의 단락을 방지합니다. 이렇게 하면 음극 사용 수명이 굉장히 길어집니다.

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