Pfeiffer Vacuum

5.3.3 ModulLine

ModulLine 시리즈엔 1,000~8 · 10-4 hPa의 압력 범위에 대한 세 개의 패시브 Pirani 진공 센서 TPR과 5 · 10-3~10-11 hPa 의 압력 범위에 대한 세 개의 저온 음극 진공 센서 IKR이 포 함됩니다. 이 진공 센서들은 어떤 전자도 포함하고 있지 않으 므로 높은 방사선 환경에 적합합니다. 거대한 케이블 범위는 진공 센서 사용 장소에서 멀리 떨어진 곳에 제어 유닛이 설치 되도록 하기 위하여 사용 가능합니다.

다음과 같은 기능을 가진 TPG 300이 제어 유닛으로 사용됩 니다.

  • 다양한 측정 보드의 모듈 설계
  • 계전기 출력이 있는 RS-232/RS-485 인터페이스 뿐만 아 니라 두 개의 측정 보드를 삽입 가능
  • 최대 네 개의 진공 센서에 연결
  • Fieldbus 연결이 가능
ModulLine 센서를 위한 TPG 300 제어 유닛

그림 5.11: ModulLine 센서를 위한 TPG 300 제어 유닛

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