Vacuum Technology Book, Volume II

6.2 어플리케이션 주의사항

헬륨 감지용 섹터 필드 질량 분석기는 지금은 자동 제어 진공 시스템이 있는 누출 테스터에 통합되었습니다. 그 결과 작업 자는 분석기의 기능적 용량에 대해 걱정할 필요가 없습니다. 이 시점에서 높은 감지 감도를 유지하기 위한 내부 표면의 이 간 거리의 중요성을 강조할 필요가 있습니다.

  • 퇴적물은 산란된 이온으로 충격을 받으면 국부 공간 전하 로 바뀔 수 있습니다. 이 전하들은 헬륨 이온의 경로를 변 류하여 감지기에 도달하는 이온들의 수를 감소시킵니다.
  • 마이크로 채널판의 퇴적물은 2차 전자의 생산을 감소시키 고 따라서 증폭 인자를 낮춥니다.

분석기의 내부 벽은 간단한 청소가 가능하지만, 오염된 마이 크로 채널판들은 교체되어야 합니다. 계기의 높은 감지 감도 를 유지하기 위해서는 물체와 장비의 청소가 매우 중요합니 다.

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