Pfeiffer Vacuum

6.3.4 진공 시스템

이온은 중성 기체 입자와의 충돌 없이 4중극자 필터를 통과 할 수 있어야 합니다. 4중극자 질량 분석기의 작동을 위해서 는 $p$ < 10-4 hPa의 압력에 도달하는 평균 경로 길이가 요구됩 니다. 이것은 압력 모니터가 있는 적절한 펌핑 스테이션을 필 요로 합니다. 최적의 감도를 가진 기체 분석을 수행하기 위해 서는 낮은 기본 압력이 필요할 뿐만 아니라 잔류 기체에 장비 의 벽에서 탈착되어 나오는 피할 수 없는 분압이 포함되어야 합니다. 이 유형의 잔류 기체 스펙트럼과 낮은 기본 압력은 터보 드래그 펌핑 스테이션으로 더 잘 도달됩니다(Figure 4.27). 추가적인 전체 압력 측정기는 질량 분석기가 과도하게 높은 압력에서 가압되지 않도록 보호합니다. 이런 시스템을 설정할 때는 부적합한 흐름 조건에서 시작되는 위조를 피하 기 위하여 기체 유입구, 밸브, 펌프, 측정 계기의 적절한 배열 에 주의를 기울여야 합니다. 높은 압력에서 작동하는 진공 공 정의 과정 동안에는 측정 시스템을 환기시키는 개별 펌핑 스 테이션이 종종 요구됩니다. 터보 드래그 펌프와 격막 펌프가 있는 소형 펌핑 스테이션이 이런 목적으로 사용됩니다.