Pfeiffer Vacuum

6.4 포트폴리오 개요

파이퍼 베큠은 다음 두 가지 기본 질량 분석기 모델을 제공합 니다.

  • 6mm 직경 봉 시스템 및 100mm 길이의 소형 PrismaPlus
  • 8mm 및 16mm 질량 필터 및 300mm 길이의 고해상도 HiQuad

PrismaPlus

전체 전자 제품이 분석기에 부착되어 베이크 아웃 시 제거 가 능한 소형 장비입니다. PrismaPlus는 다음 기능을 제공합니 다.

  • 100, 200 및 300 u의 질량 범위
  • Faraday 컵과 C-SEM을 감지기로 사용 가능
  • 다양한 이온 소스 및 필라멘트 장착 가능
  • 분석기는 최대 300°C에서 베이크 아웃될 수 있습니다.

PrismaPlus는 표준 장비로 사용되며, 모듈 및 분석 시스템으 로 통합될 수도 있습니다.

HiQuad

최고의 정확도를 제공하며, 다음 기능을 갖고 있습니다.

  • 질량 범위가 1–16 u, 1–128 u, 1–340 u, 1–300 u, 1–512 u, 1–1,024 u 및 1–2,048 u로, 다양한 모델에 사용됨
  • 다양한 질량 필터가 있으며, 질량 필터의 봉 직경과 재료 는 6mm, 8mm 몰리브덴, 8mm 스테인레스강, 16mm 몰 리브덴입니다.
  • 위에서 설명한 이온 소스 중 실제로 모든 것이 분석기와 결합될 수 있습니다.
  • 양이온과 임이온 둘 다 뿐만 아니라 중성 입자를 분석하기 위한 이온 광학(SIMS)이 있습니다.
  • 이온 계수기 뿐만 아니라 모든 유형의 감지기(예: Faraday 컵, Faraday 컵과 SEM, Faraday 컵과 C-SEM)가 다양한 배열로 사용 가능합니다.
  • 이 질량 분석기는 입력/출력 모듈의 도움이 있으면 분석 시스템에 통합될 수있습니다.

모듈

모듈은 특수 공정 모니터링, 또는 다음과 같이 다양한 기체 유입 시스템이 장착되어 있으면서 분석기를 환기시키기 위 한 건식 터보 드래그 펌핑 스테이션에 부착되어 있는 기체 분 석 장비입니다.

  • HPA 220 고압 분석기, PrismaPlus를 기초로 함 최대 50hPa의 공정 압력, 수동 및 자동 기체 유입 시스템 사용 가능
  • SPM 220 스퍼터 공정 모니터, PrismaPlus를 기초로 함 다양한 기체 유입 옵션을 통하여 최대 10-2 hPa 또는 10 hPa의 압력
  • SPM 700 스퍼터 공정 모니터, HiQuad를 기초로 함. SPM 220과 동일한 공정 압력.
  • EPD 700은 기체 상에서 식각 시 그리고 HiQuad를 기초 로 한 양이온 탐지에 사용됩니다. 공정 압력은 최대 10-2 hPa입니다.

벤치 톱 질량 분석기

파이퍼 베큠은 대기압에서 PrismaPlus를 기초로 하여 기체 를 분석하는 완벽한 시스템을 갖고 있습니다. 최적 기체 유입 시스템은 최대 감지 감도를 얻기 위하여 폐쇄형 이온 소스를 사용합니다.

  • OmniStar GSD 320 O는 대기압에서 가열 및 온도 규제 기체 유입 시스템과 함께 정량 기체 분석을 위하여 사용됩 니다.
  • ThermoStar GSD 320 T는 열중량 분석기와 짝을 이루도 록 설계되었습니다. 고온의 기체 표본들은 석영 모세관을 따라 유입될 수 있습니다. 불활성 석영 표면은 표면 반응 을 방지하고 따라서 측정 결과의 위조를 막아줍니다.

이런 장비들과 그 요소들은 분석되어야 할 물질들(증발 또는 에어로졸)의 업스트림 처리 또는 보정 중인 기체 혼합물에 자 동 보정 제공과 같은 광범위한 추가 기능을 가질 수도 있는 완벽한 장비에 OEM 고객들에 의해 설치됩니다.

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