Vacuum Technology Book, Volume II

6.4.2 데이터 분석 시스템

4중극자 질량 분석기는 PC에서 디스플레이 및 저장에 이상 적인 짧은 시간 이내에 많은 양의 정보를 제공합니다. 이것은 파이퍼 베큠 진공 질량 분석기의 전기 제어가 가장 기본적인 제어 및 디스플레이 요소를 갖고 있는 이유입니다. QUADE- RA ® 소프트웨어는 PC에서의 디스플레이, 분석, 저장 뿐만 아니라 제어 목적을 위하여 사용됩니다.

파이퍼 베큠의 QUADERA® 질량 분석기 소프트웨어는 Pris- maPlus 및 HiQuad 장비와 함께 사용하기 위한 모듈 체계입 니다. PC는 이더넷을 경유하여 질량 분석기와 소통할 수 있 는데, 이는 분광 분석기와 컴퓨터를 연결하는 케이블이 중요 하지 않음을 의미합니다.

특정한 측정 업무를 수행하기 위하여 PC는 질량 분석기에 매개변수 기록을 전달하여 장비를 설정합니다. 측정 중 또는 이후에 판독된 데이터는 컴퓨터로 전송되며, 컴퓨터에서 분 석, 디스플레이 또는 저장될 수 있습니다.

일반적인 디스플레이 방식은 다음과 같습니다.

  • 조정 가능한 질량 범위를 가진 질량 스펙트럼, 농도에 대 한 선형 또는 대수적 척도의 축
  • 시간 순서로 된 분압의 트랜드 디스플레이
  • 데이터의 양을 줄여주는 막대 그래프

잔류 기체 분석 또는 누출 감지와 같은 일반적인 측정 업무는 사전에 프로그램되어 있으며, 마우스 클릭으로 시작될 수 있 습니다.

양적 분석이 수행되어야 할 경우, 질량 분석기는 사전에 조정 되어야 합니다. 여기에 후속 양적 분석을 사용한 보정과 같은 순환 공정이 포함될 경우, 이 공정들은 VSTA(Visual Studio Tools for Applications)를 사용하여 프로그램될 수 있습니다. 프로그래밍 기술은 요구되지 않습니다. 사전 제작된 모듈이 이 목적으로 사용 가능하기 때문입니다.

복잡한 측정 업무를 해결하기 위해서는, 자주 발생하는 여러 가지 기체 및 구성품에 대한 조각 이온 분배를 포함하는 라이 브러리가 QUADERA® 소프트웨어에서 사용 가능합니다. 그 러나 분광 라이브러리에서 얻은 이런 및 다른 분배는 가이드 라인 값으로만 볼 수 있습니다. 왜냐하면 이것들은 이온화 에 너지, 온도 또는 질량 분석기의 전송 특성과 같은 다양한 매 개변수의 영향을 받기 때문입니다.

다중 기체 구성 성분을 포함한 혼합물을 분석할 때 동일한 질 량 수에서 다른 기원의 이온 전류를 겹치는 문제가 종종 발생 합니다. 감도가 단일 기체 구성 성분에 의하여 독점적으로 만 들어지는 질량 수(예: 질량 수 40의 아르곤, 질량 수 32의 산 소, 질량 수 44의 이산화탄소, 질량 수 18의 물)가 있습니다.

다른 질량 수의 경우, 감지된 이온 전류의 전체 감도는 서로 다른 기체 구성 성분으로 다양한 농도의 조각 이온 겹치기에 의해 조절됩니다. 분석되어야 할 기체 혼합물의 구성 성분과 농도비에 따라, 적합한 알고리즘과 보정 절차가 해당 측정 업 무를 위해 구성되어야 합니다. 각 구성 성분이 겹치지 않는 적합한 보정 기체 혼합물을 적용하여 양적 기체 분석을 수행 하기 전에, 각 단일 기체 구성 성분에 대한 보정 인자가 모든 겹쳐진 질량 수에 대해 결정되어야 합니다. 이런 기체들의 농 도 및/또는 분압은 그런 다음에 행렬 연산에 의해 결정될 수 있습니다. QUADERA® 질량 분석기 소프트웨어는 행렬 연산 을 수행하고 필요한 기체 지정 보정 루틴을 제공합니다.

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