Pfeiffer Vacuum

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1 진공 기술 소개

그림 1.1
진공의 개요
그림 1.2
전체 압력의 정의
그림 1.3
분압의 정의
그림 1.4
두 번의 충돌간 평균 자유 행로
그림 1.5
273.15 K의 온도에서 질소의 분자 수밀도(빨간색, 오른쪽 y축)와 평균 자유 행로(파란색, 왼쪽 y축)
그림 1.6
흐름 영역의 다양한 유형들의 개요
그림 1.7
p · d에 따른 진공 상태의 흐름 범위
그림 1.8
파이프의 평균 압력에 따른 부드럽고 둥근 파이프의 전도도
그림 1.9
다양한 물질들의 증기 압력 곡선
그림 1.10
터보분자 펌프로 환기한 깨끗한 용기에 대한 일반 잔류 기체 스펙트럼

2 기본 연산

그림 2.1
루츠 펌프의 공기에 대한 무부하 압축비
그림 2.2
Hepta 100 및 Okta 500이 있는 펌핑 스테이션의 체적 유량율(펌프 속도)
그림 2.3
건조 시스템(도해).
그림 2.4
증기 응축을 위한 루츠 펌핑 스테이션
그림 2.5
증기 응축을 위한 루츠 펌핑 스테이션
그림 2.6
변압기 건조를 위한 루츠 펌핑 스테이션
그림 2.7
높은 공정 압력에서 서로 다른 터보 펌프의 기체 처리량
그림 2.8
압력 및 처리량 조절이 가능한 진공 시스템.

3 진공의 기계적 구성품

그림 3.1
오스테나이트 스테인레스강 탄성 모듈의 온도 의존성
그림 3.2
오스테나이트 스테인레스강의 0.2% 항복점의 온도 의존성
그림 3.3
De Long 다이어그램m
그림 3.4
레이저 용접의 횡단면 이미지
그림 3.5
WIG 궤도 용접의 횡단면 이미지
그림 3.6
직사각형 홈이 있는 오링, 사다리꼴 모양 홈이 있는 오링, 각성 위치의 오링
그림 3.7
센터링 링과 클램핑 링으로 ISO-KF 연결
그림 3.8
센터링 링과 갈고리 모양 클램프로 기저판에 장착된 ISO-KF 플랜지
그림 3.9
센터링 링과 이중 갈고리 모양 클램프로 ISO-K 연결
그림 3.10
센터링 링과 갈고리 모양 클램프로 기저판에 장착된 ISO-K 플랜지
그림 3.11
밀봉 홈을 가진 기저판에 대해 오링 너트와 갈고리 모양 클램프로 기저판에 장착된 ISO-K 플랜지
그림 3.12
센터링 링, 볼트 링, 나사로 기저판에 장착된 ISO-K 플랜지
그림 3.13
센터링 링과 나사로 ISO-F 연결
그림 3.14
센터링 링과 나사로 연결한 ISO-F 플랜지 위에 볼트 링으로 장착된 ISO-K 플랜지
그림 3.15
구리 평면 개스킷과 나사로 CF 연결
그림 3.16
구리 와이어 실과 나사의 COF 연결
그림 3.17
냉각 프로필과 수냉 플랜지가 있는 EUV 소스 챔버
그림 3.18
필로우 플레이트 냉각을 사용하는 우주 시뮬레이션 챔버
그림 3.19
유리-금속 용단이 있는 CF 뷰포트
그림 3.20
구리로 만들어진 세라믹 절연 와이어 전도체가 있는 전기 피드스루
그림 3.21
벨로우즈 밀봉 앵글 밸브
그림 3.22
전자 공기식 구동 인라인 밸브
그림 3.23
UHV 게이트 밸브
그림 3.24
UHV 완전 금속 기체 도징 밸브
그림 3.25
벨로우즈 밀봉 UHV 회전 피드스루(캣테일 원리)
그림 3.26
자기 결합 UHV 회전 피드스루
그림 3.27
탄성 중합체 밀봉 회전 피드스루
그림 3.28
Z-축 정밀 조작기
그림 3.29
XY-축 정밀 조작기

4 진공 생성

그림 4.1
진공 펌프의 개요
그림 4.2
회전 날개 펌프의 작동 원리
그림 4.3
파이퍼 베큠 회전 날개 펌프
그림 4.4
회전 날개 펌프용 부속품
그림 4.5
격막 진공 펌프의 작동 원리
그림 4.6
나사 펌프의 작동 원리
그림 4.7
HeptaDry 로터
그림 4.8
HeptaDry의 연결 및 부속품
그림 4.9
공랭식 다단계 루츠 펌프의 작동 원리
그림 4.10
무척 낮은 온도에서 작동되는 루츠 펌프의 암모늄 헥사 플루오르(NH4) 2SIF6 의 응축
그림 4.11
다단계 루츠 펌프의 작동 원리, 공정 펌프
그림 4.12
ACP 120
그림 4.13
A 100 L 후면 연결
그림 4.14
A 203 H 횡단면
그림 4.15
A 1503 H 공정 펌핑 스테이션
그림 4.16
루츠 펌프의 작동 원리
그림 4.17
기체 냉각 루츠 펌프의 작동 원리
그림 4.18
루츠 펌프의 공기에 대한 무부하 압축비
그림 4.19
Okta 2000 및 다양한 배압 펌프를 사용한 펌핑 스테이션의 펌프 속도
그림 4.20
측면 채널 진공 펌프의 작동 원리
그림 4.21
터보 로터의 자유도
그림 4.22
터보분자 펌프의 작동 원리p
그림 4.23
특정 터보 펌프 펌프 속도
그림 4.24
상대 분자 질량에 따른 펌프 속도
그림 4.25
유입구 압력에 따른 펌프 속도
그림 4.26
홀벡 단계의 작동 원리
그림 4.27
순수 터보 펌프 및 터보 드래그 펌프의 압축비
그림 4.28
일반적인 UHV 잔류 기체 스펙트럼(터보 펌프)
그림 4.29
표준 HiPace 터보 펌프
그림 4.30
ATH M 자기 부상 터보 펌프
그림 4.31
터보 펌프 부속품의 예(HiPace 300용)

5 진공 측정 장비

그림 5.1
격막 진공 측정기의 설계
그림 5.2
용량성 격막 진공 측정기의 설계
그림 5.3
Pirani 진공 측정기의 작동 원리
그림 5.4
Pirani 진공 측정기 곡선
그림 5.5
전도된 마그네트론의 설계
그림 5.6
전도된 마그네트론의 작동 원리
그림 5.7
Bayard-Alpert 진공 측정기의 설계
그림 5.8
압력 측정 범위와 측정 원칙
그림 5.9
어플리케이션 개념 DigiLine
그림 5.10
ActiveLine 어플리케이션 개념
그림 5.11
ModulLine 센서를 위한 TPG 300 제어 유닛

6 질량 분석기와 잔류 기체 분석

그림 6.1
전체 및 부분 압력 측정
그림 6.2
질량 분석기의 구성품
그림 6.3
180°섹터 질량 분석기의 작동 원리
그림 6.4
섹터 필드 질량 분석기: (a) 이온 소스, (b) 감지기.
그림 6.5
4중극자 질량 분석기의 작동 원리
그림 6.6
4중극자 필터의 안정성 다이어그램
그림 6.6b
축 방향 이온 소스를 통과하는 섹션
그림 6.7
전자 에너지의 기능으로써의 이온화
그림 6.8
CO2의 조각 이온 분배
그림 6.9
그리드 이온 소스
그림 6.10
EID 이온의 판별
그림 6.11
크로스 빔 이온 소스
그림 6.12
기체 기밀 축 방향 이온 소스
그림 6.13
SPM 이온 소스
그림 6.14
PrismaPlus 이온 소스
그림 6.15
Faraday 컵의 작동 원리
그림 6.16
2차 전자 증배기(SEM)
그림 6.17
연속 2차 전자 증배기(C-SEM)의 작동 원리
그림 6.18
기체 유입 시스템과 크로스 빔 이온 소스가 있는 QMS
그림 6.19
다양한 기체 유입구가 있는 차동 펌프 QMS
그림 6.20
전기적으로 편향된 이온 소스의 전위 곡선
그림 6.21
90° 탈축 SEM

7 누출 탐지

그림 7.1
자전거 튜브의 거품 누출 테스트
그림 7.2
섹터 질량 분석기의 작동 원리
그림 7.3
일반 누출 감지기 흐름 차트
그림 7.4
석영 창 센서의 작동 원리
그림 7.5
시스템의 MiniTest 석영 창 누출 감지기의 진공 격막
그림 7.6
스니핑 방식과 진공 방식을 사용한 국부 누출 감지
그림 7.7
진공 방식을 사용한 전체 누출 감지
그림 7.8
스니핑 방식을 사용한 에워싸인 물체의 전체 누출 감지
그림 7.9
공기 누출이 있는 수용기의 질량 스펙트럼
그림 7.10
냉각 호스용 누출 테스트 유닛
그림 7.11
헬륨 회수 유닛

8 오염 관리 솔루션

그림 8.1
Moore의 법칙(Intel 및 AMD 마이크로 프로세서에서 트랜지스터 수에 의해 문서화됨)
그림 8.2
카세트(왼쪽)와 FOUP(오른쪽)을 사용한 웨이퍼 조작
그림 8.3
실리콘의 다이아몬드 같은 결정 구조
그림 8.4
공기 중 분자 오염(AMC)의 분류
그림 8.5
FOUP의 AMC 소스
그림 8.6
공기 중 극성 및 무극성 분자
그림 8.7
표면에서의 기체-고체 상호작용
그림 8.8
표면 장소
그림 8.9
식각 후 표면
그림 8.10
웨이퍼 패턴 가장자리의 결정체 성장
그림 8.11
Pod Regenerator 공정 주기
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