병 충진

오늘날 공업용 가스에 대한 요구가 계속 증가하고 있습니다. 질소나 아르곤 같은 일반적인 공업용 가스 다음으로 고순도 가스가 점점 더 중요해지고 있습니다. 고순도 가스는 레이저, 이온 주입, 실리콘 플라즈마 에칭, 누출 탐지, 혈액 가스 분석 등의 다양한 응용 분야에서 사용됩니다. 가스의 고순도에 도달하려면 진공이 필요합니다.

응용 분야 요구 사항

  • 높은 누출 기밀
  • 빠른 펌프 다운
  • 폭발성 또는 부식성 가스를 위한 깨끗한 진공 및 특수 버전

어떻게 작동합니까?
가스 센터는 가스를 액체 상태로 들여옵니다. 이 가스는 그런 다음 응축되어 충전기를 통해 작은 가스 병에 충전됩니다. 각 충전기에는 가스가 채워지기 전에 병을 배기할 목적의 진공 펌프가 장착되어 있습니다. 가스의 순도에 따라 진공 수준이 달라집니다. 일반적으로 가스의 순도가 높을수록 종압이 낮아집니다. 일반적인 압력 범위는 거친 진공 범위에서 미세 진공 범위까지입니다. 배기 시 한 가지 문제는 가스 병을 병 상단의 소행 모세관을 통해 배기해야 한다는 점입니다. 이 작은 전도도 값은 펌프 다운 시간에 커다란 영향을 미칠 수 있으므로 특히 고순도 가스에 도달하기 위해 저압이 필요한 경우 고려해야 합니다.

제품 포트폴리오
파이퍼 베큠은 병 충전을 위한 다양한 펌프를 공급할 수 있습니다. 대부분의 경우 다단계 루츠 펌프가 사용되거나 때로 회전 날개 펌프가 사용됩니다. 가스 유형에 따라 당사의 표준 펌프 외에 가벼운 가스, 부식성 가스 및 ATEX 버전이 있습니다. 이외에 압력 측정기, 잔류 기체 분석용 질량 분석기 시스템, 누출 탐지기, 밸브 및 진공 구성품을 공급할 수 있습니다.

주요 제품

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