AUGER

AES(오거 전자 분광법)는 단단한 표면의 화학적 분석에 점점 더 많이 사용되고 있습니다. 일반적으로 반도체의 결함, 결정립계 화학, 고장 분석, 상호 확산, 파괴 메커니즘 및 표면/인터페이스 불순물 측정을 식별하는 응용 분야에서 사용됩니다.

응용 분야 요구 사항

  • 낮은 진동 수준
  • 높은 신뢰성
  • 적은 전력 소비

어떻게 작동합니까?
오거 전자 분광법은 샘플에서 표면의 기본 성분에 대한 정보를 얻는 매우 민감한 측정 방법입니다. 원자에 고에너지 전자빔이나 엑스레이가 방사되어 여기되는데, 이는 코어에 가까이 있는 전자가 침출된다는 의미입니다. 원자를 기저 상태로 되돌리는 두 종류의 과정이 있습니다. 하나는 전자가 더 높은 전자 껍질에서 불안정한 전자가 뒤에 남긴 구멍 안으로 떨어지는 과정입니다. 이 과정에서 방출되는 에너지는 광자 형태로 일반적인 엑스레이 광선으로 방출될 수 있습니다. 다른 하나는 에너지가 다른 전자로 전달되어 원자로부터 방출되는 과정입니다. 이 과정을 오거 효과라고 하며 이 효과를 발견한 Pierre Auger(피에르 오거)에서 이름을 따왔습니다. 오거 전자의 에너지는 원자의 고형 물질에서의 원자의 연결 상태에 따라 달라집니다. 여기에서 샘플 구성에 대한 결론을 정보로 얻을 수 있습니다. 오거 전자 분광기의 주요 구성품은 샘플에서 방출된 전자를 측정할 수 있는 분석기입니다. 반구 분석기가 주로 사용됩니다. 이 분석기에는 전자 전위가 서로 다르며 동심이 맞는 두 개의 반구가 있습니다. 전자가 두 반구 사이에 접선으로 만날 경우 특정 에너지를 지닌 전자만 분석기를 통과할 수 있게 됩니다. 이 에너지는 반구의 전자 전위를 조정해서 바꿀 수 있으므로, 커다란 전자 에너지 스펙트럼을 측정할 수 있습니다. 대안 테스트 방법에서는 전위 에너지가 일정해지고 전자는 샘플과 분석기 사이의 역전압에 의해 느려질 것입니다. 두 방법이 종종 함께 사용될 것입니다.
샘플을 시뮬레이션하는 데 스캐닝 전자 현미경이 흔히 사용되며, 이와 동시에 샘플 표면의 사진을 수집할 수 있습니다.

제품 포트폴리오
파이퍼 베큠의 HiPace Plus 터보 펌프 라인의 경우 필요한 진동 수준이 낮기 때문에 오거 전자 분광법에 가장 적합한 솔루션입니다. HiPace Plus의 진동 수준은 표준 터보 펌프의 진동 수준보다 상당히 낮습니다. 파이퍼 베큠은 진동 수준을 훨씬 더 낮추기 위해 특별히 개발된 진동 차단기도 제공할 수 있습니다. 당사는 배압 펌프용으로 다양한 건식 솔루션을 제공할 수 있습니다. 당사의 건식 멤브레인 펌프, 다단계 루츠 펌프 또는 새로 개발된 스크롤 펌프 중에서 선택할 수 있습니다. 당사는 맞춤형 진공 솔루션을 제공하기 위해 다양한 측정기도 갖추고 있습니다.

주요 제품

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