Pfeiffer Vacuum

거친 부하 공정용 멀티 스테이지 루츠 펌프

A4 시리즈의 건식 공정 펌프는 반도체 및 코팅 산업에서 까다로운 공정을 위한 에너지 효율적이고 비용 효율적인 솔루션입니다.

거친 부하 공정이란 무엇입니까?
거친 부하 공정은 반도체 및 코팅 산업에서 사용되는 화학 공정입니다. 이 공정은 매우 거친데, 왜냐하면 진공에서 주로 공격적이고 부식성 있는 매질이 사용되고 처리되기 때문입니다. 이러한 매질은 공정 시스템의 디자인과 품질에 대한 요구조건이 매우 높습니다. 일반적인 거친 공정은 에칭과 화학 증착(CVD)입니다.

공정에 적합한 버전 선택
이 시리즈는 두 가지 버전 중에서 선택할 수 있습니다. A4H 펌프 모델은 부식성 화학 반응이 없거나 적은 모든 공정에 적합합니다. 부식성이 매우 강한 응용 분야의 경우, 내부식성 소재를 채택하여 사용 수명을 늘리는 한편 소유 비용을 절감하는 A4X 펌프 모델이 적합합니다.

올바른 장비가 중요합니다.
공격적이고 부식성 있는 화학 물질이 거친 부하 공정에 사용되기 때문에, 진공 펌프와 구성품에는 내부식성이 있어야 합니다. 반도체 및 코팅 산업의 응용 분야의 경우, 가루가 빈번하게 발생하여 진공 펌프에 쌓일 수 있습니다. 따라서 사용 중인 공정 펌프가 이 분량의 가루에 적합한지 확인해야 합니다. 펌프에 응축되는 걸 최대로 방지하기 위해, 정교한 온도 관리와 함께 정화 기체를 사용합니다.

거친 공정용 파이퍼 베큠 펌프
파이퍼베큠의 A4 시리즈는 반도체 및 코팅 산업의 가장 까다로운 공정을 위한 펌프 솔루션을 제공합니다. 이 시리즈는 건식 멀티 스테이지 루츠 펌프의 입증된 기술에 기초합니다. 높은 입자 허용치와 결로 저항이 A4 시리즈 펌프가 다른 제품과 차별되는 특성입니다. 컴팩트한 모듈식 구성으로 공간을 절약하면서 기존 시스템에 통합할 수 있습니다. 정비 주기가 길고 에너지 소비가 낮기 때문에 운영 비용을 절감할 수 있습니다.

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A4 Series 브로셔

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