Pfeiffer Vacuum

고압 분석기 HPA 220

최대 50 hPa 압력 범위에서의 기체 분석

고압 분석기 HPA 220은 유연하게 사용할 수 있는 모듈식 질량 분석기로서 최대 50 hPa의 압력까지 진공에서 기체를 분석할 수 있는 건식 터보 펌핑 스테이션을 채택했습니다.

HPA 220의 경우 전자 공기식은 물론 수동으로 조작할 수 있는 기체 유입 밸브 다섯 가지 중에서 용도에 따라 밸브를 선택할 수 있습니다.

고객 이점

  • 수동 또는 전자기 작동식 기체 유입 옵션이 다섯 가지여서 매우 유연하게 최대 50 hPa의 압력까지 공정을 분석, 모니터링, 제어 가능
  • 다양한 디지털 및 아날로그 입출력을 통해 쉽고 유연하게 시스템을 통합
  • 다중 작동으로 단 한 대의 PC에서 여러 질량 분석기 시스템의 데이터를 평가
  • 컴팩트한 크기로 유연하게 통합

응용 분야

  • 1 · 10-7 - 50 hPa 압력 범위에서의 진공 공정 분석, 모니터링 및 제어
  • 진공 코팅 시스템의 제조업체 및 운영업체
  • 반도체 생산
  • 석판 인쇄
  • 금속 공학
  • 진공로
  • 연구개발

최대 50 hPa 압력 범위에서의 기체 분석

HPA/SPM 브로셔

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