Pfeiffer Vacuum

잔류 기체 분석

4중극자 질량 분석기는 진공 시스템에서 잔류 기체 구성을 평가하는 클래식한 측정 계기입니다.

기체 구성 성분의 질량 대 전하비에 따라 질량 분석기에서 공급되는 이온 전류는 설치 후 기밀성과 오염 여부를 결정하기 위해서든, 진공 공정 작동 시 특성을 결정하기 위해서든 여러 작동 단계에서 진공 시스템에 관한 유의미한 정보를 제공합니다.

진공 챔버와 펌핑 시스템의 디자인에 따라 진공 시스템에서 달성할 수 있는 압력 범위가 감지기와 관련하여 질량 분석기의 선택을 결정합니다. 패러데이 감지기는 고진공에서 대부분 충분하지만, 초고진공에서는 농도가 매우 낮은 기체를 감지하기 위해 이차 전자 증배기가 필요합니다.

또 다른 주요 기준은 감지할 질량 범위입니다. 전통적인 진공 시스템에서 질소, 산소, 아르곤, 수증기와 같은 대기 중 기체와 일반적으로 가벼운 탄화수소 오염이 주요 감지 대상입니다. 이러한 기체를 감지하기 위해 1 - 100 amu(원자 질량 단위) 범위용 4중극자 질량 분석기가 이상적인데, 그 이유는 이 분석기가 이 범위에서 탁월한 질량 분리를 보이기 때문입니다. 체인 길이가 긴 탄화수소와 같이 비교적 무거운 기체 및 이의 구성 성분도 감지해야 하는 경우, 파이퍼 베큠은 이 용도로 1 - 200 amu 또는 1 - 300 amu의 매스 필터를 제공합니다.

잔류 기체 분석에서 대부분 작업의 경우 개방된 이온 소스가 최상의 선택인데, 이는 견고한 설계와 높은 감지 감도를 결합하고 있기 때문입니다. 가스 분사 또는 가스 흐름을 분석해야 하는 작업은 폐쇄 또는 크로스 빔 이온 소스로 처리하면 이점이 있습니다. 초고진공 범위의 경우 탈기체율이 매우 낮은 그리드 이온 소스를 사용할 수도 있습니다.

선택할 수 있는 구성품이 다수여서 파이퍼 베큠 4중극자 질량 분석기를 정밀하게 구성할 수 있기 때문에 질량 분석기를 모든 측정 작업에 맞춰 최적으로 선택할 수 있습니다. 귀하가 적절한 잔류 기체 분석기를 구성할 때 도움이 필요할 경우, 수년 경력의 당사 제품 및 어플리케이션 전문가가 귀하에게 조언을 해드립니다.

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