A4X 시리즈
A4X 시리즈 건식 펌프는 부식성 응용 분야에 사용됩니다
반도체 생산에서 고부하 공정은 언제나 진공 펌프에 대한 새로운 과제를 제기합니다. 성능이 입증되고 에너지 효율적인 다단계 루츠 기술에 기반한 A4 시리즈는 부식성 응용 분야용으로 설계된 160 ~ 3,000 m3/h 범위의 다양한 펌프 속도로 네 가지의 광범위한 건식 펌프 솔루션을 제공합니다.
A4X 시리즈는 이전 시리즈와 완전히 호환됩니다.
장점
- 다단계 루츠 기술, 고효율 모터, 전기 히터의 제한적 사용 덕분에 에너지 효율이 높음
- 내부식성 재료의 사용으로 수명을 연장함
- 광범위한 작동 온도 범위로 펌프의 균열이나 응축물의 퇴적을 방지함
- 높은 고장간 평균 시간 및 낮은 소유 비용
- 높은 입자 허용치로 공구 가동 시간을 늘림
- 펌프 작동 조건의 정확한 제어를 위해 확장된 모니터링 기능 및 유휴 모드 기능
- Semi S2-0712 및 UL 61010 준수
응용 분야
- 반도체 산업(Etch, PECVD, SACVD, ALD, ...)
- 코팅 산업 광전지 및 LED
부식성 공정에 적합한 솔루션
A4H 시리즈의 모든 기술적 장점과 이점을 이어받은 A4X 시리즈는 내부식성을 위한 재료를 통합했습니다. A4H 모델과 비교할 때, 수명이 일부 공정에서 최대 2배에 이르는 등 대폭 늘어났고, 그 결과 소유 비용이 그만큼 줄어듭니다.
A4X 시리즈: CVD 공정에서 에너지 효율이 가장 높은 솔루션
다단계 루츠 기술과 고효율 모터를 채택한 A4 시리즈는 공정 운용 시 전력 소비량이 매우 낮은 게 특징입니다. 유휴 모드 기능과 사용자 친화적인 회전 속도 조정 기능이 결합되어, 이 건식 펌프 사용 시 운용 비용을 최적으로 절약할 수 있습니다.
