다단계 루츠 펌프

다양한 응용 분야를 위한 에너지 및 비용 효율적인 건식 펌프

고진공 애플리케이션 응용 분야 전반에 걸쳐 신뢰할 수 있는 다기능 다단계 부스터 펌프를 살펴보십시오. 깨끗하고 건조한 공정에 이상적이며 높은 펌핑 속도와 낮은 최종 압력을 제공하므로 반도체 제조, 진공 코팅 및 R&D 응용 분야에 적합합니다.

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Multi Stage Roots Pumps For Harsh Chemical Applications

다단계 루츠 펌프의 장점을 알아보세요

무마찰 기술을 갖춘 다단계 루츠 펌프는 건식 용적식 진공 펌프 범주에 속하며 입자 및 탄화수소가 없는 환경을 제공하여 깨끗한 진공 요구 사항에 이상적인 선택입니다. 이는 탁월한 펌핑 속도, 탁월한 최종 압력 및 탁월한 가스 처리 기능을 제공합니다. 마모 부품이 없기 때문에 장기적인 안정성과 신뢰성이 보장됩니다. 다단계 루츠 펌프에는 범용 전원 공급 장치가 장착되어 있으며 CE 표준, UL/CSA 인증, SEMI S2 인증을 준수하므로 이 펌프는 다양한 응용 분야에 적합합니다.

올바른 건식 펌프 선택

필요한 다단계 루츠 펌프의 유형은 그것이 의도된 특정 응용 분야에 의해 영향을 받습니다. 다양한 응용 분야에는 다양한 펌핑 속도, 최대 압력 및 가스 처리 기능이 필요합니다. 예를 들어, 로드록 및 이송 챔버가 중요한 반도체 제조에서는 빠른 펌프 다운 사이클을 위해 컴팩트하고 통합된 펌프가 선호됩니다. 반면, 표면 분석기 및 누출 감지기의 경우 요구 사항을 충족하려면 특정 가스 포트 옵션이 있는 펌프가 필요할 수 있습니다. 또한 입자가속기에는 방사선에 대한 저항성 등 특수한 기능을 갖춘 펌프가 필수적이다. 따라서 최적의 성능과 효율성을 보장하기 위해 가장 적합한 다단계 루츠 펌프를 선택하려면 각 응용 분야의 고유한 요구 사항을 이해하는 것이 중요합니다.

깨끗한 진공 응용 분야에 이상적인 솔루션

ACP 및 A 100 L, TORRI BD 펌프는 높은 수준의 순도와 신뢰성을 요구하는 청정 공정을 위해 특별히 설계된 최첨단 솔루션입니다. 공냉식 설계가 적용된 ACP 시리즈는 일정한 성능과 다용도성을 제공하여 스크롤 및 오일 밀봉 펌프를 대체할 수 있는 이상적인 제품입니다. 반면에 A 100 L과 A 200 L은 컴팩트 사이즈의 통합 펌프로, 로드락과 이송 챔버에서 빠른 펌프 다운 사이클을 빈번하게 수행하는 데 적합합니다. 로드락(Load lock) 챔버를 위한 또 다른 컴팩트한 옵션은 TORRI BD 진공 펌프입니다. 이 진공 펌프는 에너지 효율이 높고, 최대 진공도가 낮으며, 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간을 자랑합니다. 이러한 모든 진공 펌프는 처리량이 많고, 유지보수 비용이 낮으며, 산업 표준을 준수하므로 다양한 산업 분야에서 청정 진공 공정에 최적의 선택입니다.

깨끗한 응용 분야를 위한 다단계 루츠 펌프

탁월한 신뢰성: 열악한 화학 공정을 위한 건식 펌프

가장 까다로운 화학 환경을 처리해야 하는 경우 파이퍼 베큠의 A3 및 A4 시리즈가 최고의 선택입니다. 이러한 다단계 루츠 펌프는 부식성 및 공격적인 화학 물질을 견딜 수 있도록 특별히 제작되어 비교할 수 없는 성능, 효율성 및 장기 안정성을 제공합니다. 견고한 설계와 부식 방지 소재를 갖춘 이 프로세스 펌프는 반도체 에칭, 화학 기상 증착(CVD) 및 기타 까다로운 화학 공정과 같은 응용 분야에서 탁월한 성능을 발휘합니다.

열악한 응용 분야를 위한 프로세스 펌프

다단계 루츠 블로워의 작동 원리 이해

고유한 원리로 작동하는 다단계 루츠 펌프는 효율적이고 안정적인 진공 성능을 가능하게 합니다. 이 펌프는 접촉하지 않고 반대 방향으로 회전하는 로브가 있는 두 개의 연동 로터로 구성됩니다. 로터가 회전하면서 다양한 부피의 챔버가 생성되어 가스가 입구에서 출구로 갇혀 이송됩니다. 다단계 구성은 가스를 여러 단계로 압축하여 펌핑 효율을 향상시켜 압력 차이를 높이고 전반적인 성능을 향상시킵니다. 무마찰 설계를 갖춘 이 펌프는 윤활제 및 밀봉재가 필요하지 않아 입자 및 탄화수소가 없는 진공 환경을 보장합니다.

이 3D 애니메이션을 통해 파이퍼 베큠의 다단계 루츠 펌프의 기능 원리와 설계를 경험해 보십시오.

다양한 애플리케이션을 위한 다양한 솔루션

다양한 산업 전반에 걸쳐 광범위하게 활용되는 다단계 루츠 펌프는 표면 분석기생산, 누출 감지기 및 입자 가속기 생산뿐만 아니라 로드록 및 이송 챔버에 필수적인 반도체 제조를 포함한 다양한 분야에서 중요한 역할을 합니다. 또한 다단계 진공 펌프는 터보 펌핑 스테이션, 실험실, 램프 제조, 가스 산업 공정, 진공 코팅, 크라이오 펌프 재생, 플라즈마 세척, 다양한 건조 및 세척 응용 분야에서 그 자리를 찾습니다. 적응성과 견고한 성능으로 인해 동결 건조, 레이저 가스 재활용은 물론 고가치 가스 관리에도 없어서는 안 될 제품입니다. 연구 개발이든 산업 환경이든, 다단계 루츠 펌프의 다양성은 최적의 진공 성능을 달성하고 다양한 분야와 응용 분야의 특정 요구 사항을 충족하기 위한 솔루션임을 보장합니다.

다단계 진공 펌프로 다양한 화학물질 펌핑

다단계 루츠 펌프는 부식성 물질과 공격성 물질을 포함하여 다양한 산업 전반에 걸쳐 다양한 화학 물질을 처리할 때 탁월한 다양성을 제공합니다. 산 및 용제부터 가스 및 증기에 이르기까지 다단계 루츠 송풍기는 최고의 신뢰성으로 다양한 화학 화합물을 처리할 수 있습니다. A3 및 A4 펌프의 견고한 구조와 재료는 화학적 공격에 대한 저항성을 보장하여 까다로운 환경에서도 장기적인 내구성과 일관된 성능을 제공합니다.

지속 가능한 솔루션

다단계 루츠 펌프는 다양한 환경적 이점을 제공하므로 다양한 산업 분야에서 지속 가능한 선택이 됩니다. 첫째, 이 펌프는 에너지 효율성을 염두에 두고 설계되어 전력 소비를 효과적으로 줄이고 작동 중 전체 탄소 배출량을 최소화합니다. 일부 모델에는 주파수 변환기가 장착되어 있어 운전자가 특정 응용 분야 요구 사항에 따라 회전 속도를 조정하여 에너지 사용을 최적화할 수 있으므로 에너지를 추가로 절약할 수 있습니다. 또한 뛰어난 펌핑 속도와 탁월한 가스 처리 기능을 통해 효율적인 공정 관리가 가능해 재료 낭비가 줄어들고 에너지 소비가 줄어듭니다. 또한 이러한 펌프는 안정적이고 오래 지속되는 성능을 제공하여 지속 가능한 운영 관행에 기여하고 빈번한 펌프 교체와 관련된 환경 영향을 줄입니다. 이러한 모든 기능 덕분에 다단계 루츠 펌프는 현대 산업을 위한 환경 친화적이고 책임감 있는 선택이 되었습니다.