컴팩트
- 통합형 건식 펌프 시장을 선도
- 100 m3/h의 높은 펌핑 속도
- 펌프에 수냉 회로 장착
- 로크 및 트랜스퍼 챔버에서 높은 펌핑 사이클 주파수
- 200 m3/h의 높은 펌핑 속도
고부하 순환 펌핑 공정용 통합형 펌프
치수가 컴팩트한 이 통합형 펌프는 반도체 생산 시설에 유연하게 통합할 수 있도록 특별히 개발되었습니다. 공구 또는 팹의 서브 플로어에 직접 설치하도록 설계된 이 컴팩트한 펌프 시리즈는 펌프 다운 사이클이 짧고 빠릅니다. 로드 록 및 이송 챔버는 물론 기타 모든 비부식성 응용 분야에 완벽하게 적합한 솔루션입니다.
처리량이 높은 응용 분야용 새로운 솔루션
파이퍼 베큠은 200 m3/h 급으로 처리량이 높고 펌핑 사이클이 짧은 응용 분야용 제품인 A 200 L을 출시하면서 다시 한 번 통합형 건식 펌프 시장에서 자사의 세계적인 리더십을 과시했습니다. 100 m3/h 급인 A 100 L과 200 m3/h 급인 A 200 L을 가지고, 파이퍼 베큠은 모든 유형의 로드 락 및 이송 챔버에 부응할 수 있는 전 범위의 제품을 제공합니다.
장점
- 높은 처리량
- 소형 치수
- 최적화된 조립
- 낮은 소유 비용
응용 분야
- 로드 락 및 이송 챔버
- 반도체 생산
최첨단 펌프
A 100 L 펌프의 시장 통합 후, 이 펌프는 반도체 산업의 생산 시설에서 펌프의 통합에 혁신을 일으켰습니다. 건식 다단계 루츠 기술에 기초하여 소형임에도 불구하고 이 펌프는 펌프 속도가 높고 펌프 다운 시간이 짧습니다. 오늘날 통합형 경부하 펌프는 최첨단 펌프로서, A 200 L 시리즈는 전 세계의 많은 300 mm 반도체 공장에 설치되었습니다.
로드 락 및 이송 챔버 응용 분야용
부하 락 챔버 및 이송 챔버와 같이 경부하 응용 분야에서, 이 펌프는 펌프 설치 위치에서 진공 라인의 영향을 받지 않습니다. 통합형 펌프를 사용하면 진공 라인의 설치, 통합 및 시운전 비용이 절감됩니다. 이 펌프는 생산 중 재생 가능한 성능을 제공하고 에너지 효율적입니다. 높은 신뢰성과 장기적인 안정성이 통합형 펌프의 특징입니다.
통합형 펌프 - 반도체 산업에서만 사용되지 않습니다
추가적으로 소음 방출과 진동이 적다는 이점이 있습니다. ACP 시리즈와 마찬가지로 이 컴팩트한 펌프는 고가의 기체 회수 또는 재활용에 사용할 수 있습니다. 크기가 작아 생산 시설에 간단하게 통합할 수 있습니다.
