A 100 L
진공 펌프 시장의 선두 제품. 작동 시간을 늘리는 데 초점을 맞춘 A 100 L은 현장에서 예방적인 정비가 필요하지 않고 195,000시간의 MTBF로 동급 중 최고의 신뢰성을 제공합니다.
어플리케이션
- 반도체 산업의 로드 로크 및 트랜스퍼 챔버
- 광전지 응용 분야의 로드 로크 및 스퍼터링 챔버
- 극저온 응용 분야 및 기초 연구 실험실에서 사용
- 산업(극저온, 가스 제조사, 레이저 소스)
- 분석 계측기(전자 현미경 검사 또는 표면 분석용 로드 로크 챔버)
고객 가치
- 높은 출력
- 신뢰성이 높음
- 에너지 효율적임
- 컴팩트함
- 적층식
- 낮은 진동 및 소음 레벨
- 플러그앤플레이 시스템: 통합형 모니터링 장치
- 옵션 RS232 / RS485 인터페이스
제품 설명
- 통합형 건식 펌프 시장을 선도
- 100 m3/h의 높은 펌핑 속도
- 펌프에 수냉 회로 장착
제품
펌핑 속도가 100 m3/h이고 에너지 절감 옵션이 있는 클린 응용분야용 컴팩트한 건식 펌프
- 통합형 자동 에너지 절감 모듈이 전력 소비량을 50 % 정도 줄여줍니다
- 작동 시간 카운터와 3개의 컬러 LED가 펌프 상태에 대한 정보를 전면에 표시
- 16핀 또는 19핀 인터페이스 커넥터가 개별 I/O 정보를 도구로 전송
- 옵션 RS232 또는 RS485 직렬 인터페이스가 제어 및 모니터링 기능을 제공
- 옵션인 직렬 인터페이스 RS232 또는 RS485는 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다
펌핑 속도가 100 m3/h인 클린 응용분야용 컴팩트한 건식 펌프
- 펌프에 냉각수 회로가 장착되어 있습니다
- 작동 시간 카운터와 3개의 컬러 LED가 펌프 상태에 대한 정보를 전면에 표시
- 16핀 또는 19핀 인터페이스 커넥터가 개별 I/O 정보를 도구로 전송
- 옵션 RS232 또는 RS485 직렬 인터페이스가 제어 및 모니터링 기능을 제공
