A 100 L

진공 펌프 시장의 선두 제품. 작동 시간을 늘리는 데 초점을 맞춘 A 100 L은 현장에서 예방적인 정비가 필요하지 않고 195,000시간의 MTBF로 동급 중 최고의 신뢰성을 제공합니다.

어플리케이션

  • 반도체 산업의 에어 로크 및 트랜스퍼 챔버
  • 광전지 응용분야의 에어 로크 및 스퍼터링 챔버
  • 극저온 응용분야 및 연구 실험실에서의 사용
  • 산업(극저온, 가스 생산업체, 레이저 소스)
  • 분석기(전자 현미경 검사 또는 표면 분석용 에어 로크 챔버)

고객 가치

  • 높은 출력
  • 신뢰성이 높음
  • 에너지 효율적임
  • 컴팩트함
  • 적층식
  • 낮은 진동 및 소음 레벨
  • 플러그앤플레이 시스템: 통합형 모니터링 장치
  • 옵션 RS232 / RS485 인터페이스

제품 설명

  • 통합형 건식 펌프 시장을 선도
  • 100 m3/h의 높은 펌핑 속도

제품

A 100 L ES 에너지 절약 버전

펌핑 속도가 100 m3/h이고 에너지 절감 옵션이 있는 클린 응용분야용 컴팩트한 건식 펌프
  • 통합형 자동 에너지 절감 모듈이 전력 소비량을 50 % 정도 줄여줍니다
  • 펌프에 냉각수 회로가 장착되어 있습니다.
  • 작동 시간 카운터와 3개의 컬러 LED가 펌프 상태에 대한 정보를 전면에 표시합니다
  • 16핀 또는 19핀 인터페이스 커넥터는 개별 E/A 정보를 도구로 전송합니다.
  • 옵션인 직렬 인터페이스 RS232 또는 RS485는 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다
펌핑 속도가 100 m3/h인 클린 응용분야용 컴팩트한 건식 펌프
  • 펌프에 냉각수 회로가 장착되어 있습니다
  • 작동 시간 카운터와 3개의 컬러 LED가 펌프 상태에 대한 정보를 전면에 표시합니다
  • 16핀 또는 19핀 인터페이스 커넥터는 개별 E/A 정보를 도구로 전송합니다
  • 옵션인 직렬 인터페이스 RS232 또는 RS485는 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다
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